Quel rôle le refroidisseur joue-t-il dans le processus de revêtement sous vide?
Apr 17, 2019| Quel rôle le refroidisseur joue-t-il dans le processus de revêtement sous vide?
Le principe de fonctionnement du revêtement sous vide est que le corps du film s'évapore et tombe sur la surface de la pièce pour se cristalliser à haute température . Comme l'air sur l'évaporation des molécules de la membrane va produire une résistance causée par la collision des cristaux, la matte sera rugueuse. Il faut donc le placer dans un vide poussé pour rendre le cristal fin et brillant. Si le vide n'est pas trop élevé, le cristal perdra de son éclat et sa mauvaise liaison. Obliger. Le revêtement sous vide précoce dépend de l'évaporation de la diffusion naturelle, associée à une faible efficacité et à un faible brillant. Maintenant, en plus de la cible de pulvérisation cathodique par magnétron à moyenne fréquence, les molécules s’évaporant du corps du film sont accélérées pour bombarder le matériau cible sous l’action du champ électrique avec la cible du magnétron, et un grand nombre d’atomes cibles sont projetés et le des atomes (ou molécules) neutres sont déposés sur le substrat pour former un film, ce qui résout le problème de la variété du corps du film qui ne peut pas être traité par évaporation naturelle dans le passé, tel que le titrage, le zirconium, etc.
Si l'équipement doit ajouter de l'eau de refroidissement, en raison de son courant haute fréquence. Lorsque le courant circule dans le conducteur, il se produit un effet de peau et la charge s'accumule dans la surface de la conductance, de sorte que la conductance est chauffée. Par conséquent, le tube central est utilisé comme conducteur et de l’eau est ajoutée pour le refroidir.
Pourquoi refroidir à l'eau? Les cibles de pulvérisation magnétron produisent des températures élevées lors du lancement qui déforment le pistolet, de sorte qu'il dispose d'une veste pour le refroidir. Dans le même temps, il existe une autre raison importante de considérer la pulvérisation cathodique au magnétron comme l’une des réalisations exceptionnelles de z * en matière de technologie de revêtement. Il présente un taux de pulvérisation élevé, une faible augmentation de la température du substrat et une bonne adhésion film-base.
Les principes généraux de la pulvérisation magnétron, la non-uniformité transversale et la symétrie du champ magnétique sont discutés. La pulvérisation au magnétron peut être considérée comme l’une des réalisations exceptionnelles de la technologie de revêtement z *. Il se caractérise par une vitesse de pulvérisation élevée, une faible élévation de la température du substrat, une bonne adhésion film-base et des performances stables du dispositif.
Le refroidisseur est une sorte d’équipement de refroidissement par eau, peut fournir une température constante, un courant constant, un équipement d’eau de refroidissement à pression constante.Son principe de fonctionnement consiste à injecter une certaine quantité d’eau dans le réservoir d’eau de la machine d’abord, refroidir l’eau à travers le système de réfrigération. , puis envoyez l’eau de refroidissement à basse température dans l’équipement de refroidissement par la pompe à eau, la température augmente après que l’eau de refroidissement ait évacué la chaleur, puis retourne au réservoir d’eau pour obtenir l’effet de refroidissement. La température de l'eau de refroidissement peut être ajustée automatiquement en fonction des besoins, une utilisation à long terme peut économiser de l'eau.
Le refroidisseur peut contrôler la température de la machine de revêtement sous vide pour garantir la haute qualité des pièces de placage. Si elle ne convient pas au refroidisseur, la machine de revêtement sous vide ne peut pas atteindre le but d'un contrôle de température de haute précision et à haut rendement, car la dissipation de chaleur naturelle de l'eau et du château d'eau est inévitablement affectée par la température naturelle. très instable.
La machine à eau froide a un système de réfrigération complètement indépendant, non influencé par la température ni par l'environnement, la température de l'eau dans 5 ℃ ~ 30 ℃ contrôle de la plage de réglage, permet ainsi d'atteindre l'objectif de contrôle de la température et de haute précision, la machine à eau froide est équipée système de recyclage de l'eau.
IKS PVD ， MF moyenne fréquence ） machine d'enduction par pulvérisation megnetron ， contact ： iks.pvd@foxmail.com
