Le nettoyage du plasma peut être classé en outre

Selon les différentes sélections de gaz de processus, le nettoyage du plasma peut être classé en trois modes: nettoyage chimique, nettoyage physique et nettoyage physicochimique

Nettoyage chimique: nettoyage du plasma avec réactions de surface principalement basée sur des réactions chimiques, également connues sous le nom de PE.

Nettoyage physique: Nettoyage du plasma avec réactions de surface principalement sur la base des réactions physiques, également appelée corrosion de la pulvérisation (SPE).

AR + est accéléré sous l'effet de l'auto-biais ou du biais externe pour générer de l'énergie cinétique, puis bombarde la surface de la pièce pour être nettoyée placée sur l'électrode négative. Il est généralement utilisé pour éliminer les oxydes et activer simultanément l'énergie de surface. Les réactions physiques et les réactions chimiques jouent un rôle important dans les réactions de surface.

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