Introduction à la technologie de dépôt physique en phase vapeur (PVD) de semi-conducteurs
Oct 23, 2025| Introduction à la technologie de dépôt physique en phase vapeur (PVD) de semi-conducteurs
Dans la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement en couches minces est l’un des processus essentiels, affectant directement les performances électriques, la fiabilité et l’intégration des dispositifs. Le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), en tant que deux technologies courantes, ont couvert les exigences de préparation de couches minces des dispositifs semi-conducteurs à différents niveaux avec leurs avantages respectifs.

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