Puissance PECVD-radio-fréquence
Jul 08, 2023| Plus la puissance de la radiofréquence est importante, plus l'énergie de bombardement des ions est importante, ce qui est propice à l'amélioration de la qualité du film de dépôt. Parce que l'augmentation de puissance augmentera la concentration de radicaux libres dans le gaz, de sorte que le taux de dépôt augmente linéairement avec la puissance, lorsque la puissance augmente dans une certaine mesure, le gaz de réaction est complètement ionisé, les radicaux libres atteignent la saturation, et le taux de dépôt tend à être stable.
Société IKS PVD, machine de revêtement décoratif, machine de revêtement d'outils, machine de revêtement DLC, machine de revêtement optique, ligne de revêtement sous vide PVD, le projet clé en main est disponible. Contactez-nous maintenant, E-mail : iks.pvd@foxmail.com
