Systèmes de contrôle de gaz et de débit PECVD
Jun 30, 2023| L'alimentation en gaz du système PECVD est presque toujours fournie par des bouteilles de gaz, qui sont placées dans une armoire à gaz avec de nombreux dispositifs de sécurité, et livrées à la chambre de traitement de PECVD via le panneau de commande sur l'armoire à gaz et les tuyaux.
Lors du dépôt, la quantité de gaz de réaction affectera la vitesse de dépôt et son uniformité, il est donc nécessaire de contrôler strictement le débit de gaz, et le débitmètre massique est généralement utilisé pour obtenir un contrôle précis.
Société IKS PVD, machine de revêtement décoratif, machine de revêtement d'outils, machine de revêtement DLC, machine de revêtement optique, ligne de revêtement sous vide PVD, le projet clé en main est disponible. Contactez-nous maintenant, E-mail : iks.pvd@foxmail.com
