Les questions ont besoin d'attention lors du choix des cibles de revêtement PVD

Lors du choix des cibles, à l'exception de l'application des revêtements, les questions suivantes doivent également être prises en compte:

◆ Le revêtement déposé par les cibles doit avoir une bonne résistance mécanique et une bonne stabilité chimique

◆ Le revêtement déposé par les cibles devrait avoir une bonne force de liaison avec le substrat. Dans le cas contraire, les matériaux de revêtement ayant une bonne force de liaison au substrat doivent être utilisés, et d'une part pulvériser et déposer une membrane basale et ensuite préparer les revêtements souhaités.

◆ Comme le revêtement est formé par pulvérisation réactive, les matériaux de revêtement doivent pouvoir réagir facilement avec un gaz et générer un film composite.

◆ Dans le cadre de la satisfaction des exigences de performance des revêtements, plus la différence de coefficient de dilatation thermique entre la cible et le substrat est faible, mieux c'est, afin de réduire l'influence de la contrainte thermique.

◆ La cible doit répondre aux exigences techniques de pureté, teneur en impuretés, uniformité des composants, précision d'usinage, etc.