Problème commun de film de pulvérisation de magnétron

Le film est gris et sombre

1. Le degré de vide est inférieur à 0,67 Pa. Le degré de vide devrait être augmenté à 0,13-0,4Pa.

2. La pureté de l'argon est inférieure à 99,9%. Plaese utilise de l'argon avec une pureté de 99,99%.

3. Fuites du système gonflable. Le système de gonflage doit être vérifié pour éliminer les fuites.

4. L'apprêt n'est pas complètement durci. Le temps de durcissement de l'amorce doit être prolongé de manière appropriée.

5. La quantité de gaz libérée par la partie plaquée est trop grande. La chambre devrait être séchée et scellée

Surface terne et terne

1. Le temps de pulvérisation est trop long. Le temps devrait être raccourci de manière appropriée.

2. La pulvérisation et la vitesse de formation de film sont trop rapides. Veuillez réduire correctement le courant ou la tension de pulvérisation.

Couleur inégale du revêtement

1. Le film est trop mince. S'il vous plaît augmenter la vitesse de pulvérisation ou le temps de pulvérisation.

2. Conception de luminaire irrationnel. La conception du luminaire devrait être améliorée.

3. La géométrie du substrat est trop compliquée. S'il vous plaît augmenter de manière appropriée la vitesse de rotation du substrat.

Le film a des rides ou des fissures

1. Le taux d'évaporation est trop rapide. Il devrait être correctement ralenti.

2. Le film est trop épais. Le temps de pulvérisation devrait être raccourci de manière appropriée.

3. La température du substrat est trop élevée. Veuillez raccourcir le temps de chauffage du substrat.

La surface du film a des traces d'eau, des traces de doigts et des particules de suie

1. Le substrat n'est pas suffisamment séché après le nettoyage. Le traitement de pré-placage devrait être renforcé.

2. La surface du substrat est éclaboussée d'eau ou de salive. Les opérateurs devraient porter des masques.

Mauvaise adhérence

1. Mauvais dégraissage des pièces de placage. Le traitement de pré-placage devrait être renforcé.

2. La chambre à vide n'est pas propre. La chambre à vide doit être nettoyée. S'il vous plaît noter que lors du processus de chargement et de déchargement des cibles, il est strictement interdit d'utiliser les mains ou tout autre objet sale est de toucher la source du magnétron.

3. L'appareil n'est pas propre. L'appareil doit être nettoyé.

4. Mauvais contrôle des conditions du processus de pulvérisation. S'il vous plaît améliorer les conditions du processus de pulvérisation.