Caractéristiques et classification des unités à ultra haut vide

Caractéristiques et classification des unités à ultra-vide

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Les unités à vide ultra poussé fonctionnant à plus de 10 ^-5 pa sont équipées d’une pompe à diffusion, d’une pompe à vide moléculaire à pompe moléculaire et d’unités à vide ultra exempt d’huile. Les unités ont les caractéristiques suivantes:

1. Niveau de vide final élevé de la pompe principale, 10 ^-7 ~ 10 ^-8 pa ci-dessus;

2. Peut résister à la température élevée de 200 ~ 450 ℃ cuisson ;

3. La pression partielle du gaz de retour dans la pompe principale est très basse;

4. Pour la sélectivité du gaz pompé de la pompe principale, être équipé d'une pompe auxiliaire assez grande;

5. Les exigences de la chambre à vide, du tuyau, de la vanne et des autres composants du débit de sortie du matériau sont très faibles, le taux de fuite est très faible.

(1) Unité de vide ultra poussé par pompe de diffusion

La pompe à diffusion en tant que pompe prioritaire dans l’unité de vide ultime, le degré de vide ultra élevé est de 10-7 ~ 10-8 pa.

Pour réduire de la pompe à diffusion avant le niveau de diffusion du gaz et bloquer l'huile de la pompe mécanique anti-effet de diffusion sur le vide ultime, mais devant le type de pompe à diffusion une petite vitesse de pompage de la pompe à diffusion, afin de réduire le taux de compression, réduire la diffusion Comme dans l’entrée de la pompe à diffusion, l’ajout d’une sublimation de titane bien au-dessus peut réduire davantage la pression partielle d’azote de la pompe à diffusion, ce qui permet d’obtenir un vide très poussé de 10 à 11 pa .

(2) Unité de pompe à ultra haut vide

L'unité à vide ultra poussé avec pompe moléculaire comme pompe principale a un degré de vide maximum de 10-8pa, caractérisé par un démarrage rapide et une faible pollution par les hydrocarbures. De plus, un puits froid d'azote liquide peut être ajouté à l'unité pour augmenter la vitesse de pompage. Un puits d'eau froide peut être placé à la sortie de la pompe mécanique pour empêcher les vapeurs d'huile de pénétrer dans le système .

(3) Unité ultra haute dépression sans huile

Les unités à vide qui n'utilisent pas l'huile comme fluide de travail et ne sont pas scellées avec des matières organiques sont connues comme les pompes principales couramment utilisées dans les unités à vide ultra poussé sans huile, telles que les pompes cryogéniques, les pompes à titane, les pompes à ionisation par pulvérisation, etc. qui peut obtenir le degré de vide ultime de 10 ^-7 ~ 10 ^-8 pa. Par rapport aux unités à vide contenant de l'huile, il présente les avantages suivants:

1) un vide propre sans sources de pollution peut être obtenu;

2) Lorsque la pompe à vide sans huile est démarrée, la pompe de pré-pompage peut être isolée;

3) Si le pompage s'arrête brusquement, le système ne sera pas pollué.

4) pas d'huile, pas de vibration, améliorer l'environnement de travail;

5) Vide limite supérieure, vitesse de pompage élevée, temps de pompage court.