Inspection et l’épaisseur du revêtement PVD
Dec 15, 2018| Inspection et l’épaisseur du revêtement PVD
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L’épaisseur du revêtement se réfère à la surface externe du revêtement ainsi que la distance à la surface du substrat sous le revêtement, généralement en 0 ~ 15um, il existe de nombreuses méthodes de détection, ce qui suit présente l’application actuelle des méthodes plus courantes : Croix méthode de la section, méthode mark sphériques et méthode de détection non destructive.
1. méthode de l’article
Article méthode est une méthode de détection destructive, l’ouvrage ne peut-être pas être réutilisé. Il testera la pièce ou l’échantillonnage le long de la section de revêtement coupé, sous le microscope 1000 ~ 10000 fois plus grand pour la mesure, plus le facteur de grossissement, plus l’impact des facteurs humains, plus la précision. La limite entre le revêtement et le substrat est très évidente et il est commode mesurer par l’échelle en sem. La distance entre le départ du souverain et de points de terminaison est l’épaisseur de l’enduit. Si la mesure est exacte ou pas à juger correctement la limite entre le revêtement et le substrat, dans le cas contraire il apportera des erreurs. Si l’interface entre le revêtement et le substrat est floue, il est préférable de ne pas utiliser cette méthode de mesure. En général, cette méthode de mesure est intuitif et précis. En outre, lorsque cette méthode est utilisée pour la mesure, il est préférable d’observer la section, qui doit être relativement plate. Sinon, traitement manuel devrait effectuer pour faire la section même pour l’observation et de mesure.
Miroir de l’huile permet également d’observer la section de revêtement pour la mesure. L’échantillon de coupe est placé dans plastifié pour la pressant, gravure et formant dans un échantillon de bloc, alors la surface testée est broyée et la surface testée est broyé et nivelé. Pendant la mesure, l’air pompé de l’huile est mesuré entre l’objectif et la surface mesurée pour réduire les interférences.
2. Ball-cratère
Boule marque méthode consiste à utiliser un certain diamètre de la bille d’acier sur la surface de l’enduit ponçage, le revêtement et la matrice meulage sur une fosse, boule, section d’instrument pour un arc de meulage. Les exigences de fonctionnement meulage sont les mêmes que celles de l’épreuve de marque, qui mesure l’adhérence du revêtement. Après le bal de meulage, l’image est observée au microscope par le biais du système d’imagerie et sous le moniteur.
L’apparence de la pièce sera endommagée par la méthode de mark ball. Si le point de détection n’est pas dans la zone fonctionnelle, il n’affecte généralement pas sa réutilisation. Toutefois, afin d’éviter les erreurs, il est nécessaire de discuter avec et obtenir le consentement du propriétaire artefact avant l’essai avec cette méthode.
3. testing(NDT) non destructifs
Méthode d’essai non destructif est de détecter l’épaisseur du revêtement sur la pièce sans endommager la pièce à usiner. Il existe plusieurs types de méthodes d’essai non Destructif, en général, essais non destructifs ont besoin fournir le substrat et la composition de revêtement, ou fournir des échantillon de revêtement pour analyser des données de référence, lors de l’essai, on mesurera et revêtement composition composition comparer avec des blocs de maître échantillon à déduire de la théorie de l’épaisseur du revêtement, donc, pour les différents substrats et revêtement d’analyse de la composition, faire mesurer le programme, puis à la mesure réelle. Bien sûr, certains instruments peuvent être mesurés directement sans faire des blocs de l’échantillon, mais l’erreur est grande. Cette section présente surtout à fluorescence x (XRF).
Instrument XRF est principalement composé de système de détection et source d’excitation des rayons x. Tube à rayons X produire des rayons x-Ray basé) (rayonnement ou hit pièce à mesurer, chaque élément de la pièce à mesurer est motivés, secondaires des rayons X émis et rayons secondaires émis par les différents éléments présentant des caractéristiques spécifiques de l’énergie (autrement dit, Selon l’énergie caractéristique du secondaire a rayons types et teneur en éléments peut apprendre). Le système de détection mesure l’énergie et la quantité de ces rayons secondaires excités. Le logiciel de système de détection convertit l’énergie détecté et les informations de quantité dans les éléments correspondants et le contenu, afin que le type et le contenu des éléments à l’intérieur de la pièce testée peuvent être détectées. En utilisant le principe de fluorescence de rayons x, chaque élément du tableau périodique peut être mesuré théoriquement. Toutefois, en application pratique, la gamme de mesure élémentaire efficace est d’élément 11, sodium (Na), à élément 92, l’uranium (U).
Selon les principes ci-dessus, lors de la mesure de l’épaisseur du revêtement de l’échantillon, XRF analyse la composition de l’élément de la matrice et revêtement respectivement. En règle générale, la composition d’éléments du revêtement est très différente de celle de la matrice. Par conséquent, le logiciel de calcul permet de calculer l’épaisseur de l’enduit. Si la composition d’éléments de divers substrats et revêtements est détectée séparément en avance et stockée dans la base de données de l’ordinateur comme une norme, détection XRF, la composition de l’élément détecté est par rapport à la norme de trouver la matrice correspondante type de revêtement et juger l’interface entre le revêtement et le substrat, afin de mesurer l’épaisseur de l’enduit avec plus de précision.