Alimentation d'énergie de pulvérisation de magnétron de fréquence intermédiaire de puissance élevée
Caractéristiques de l'alimentation de la pulvérisation par magnétron à fréquence intermédiaire à puissance élevée ● La source de puissance de pulvérisation cathodique à magnétron MF à haute puissance peut mettre en œuvre la fonction d'extinction d'arc raisonnablement et rapidement sur la base de la puissance requise. Et l'alimentation a un affichage parfait ...
- Présentation du produit
● La source de puissance de pulvérisation cathodique à magnétron MF à haute puissance peut mettre en œuvre la fonction d'extinction d'arc de façon raisonnable et rapide en fonction de la puissance requise. Et l'alimentation a des capacités d'affichage et de protection parfaites de sous tension, surtension, surcharge, surchauffe, etc. En outre, elle peut pulvériser des cibles non conductrices et augmenter le taux d'ionisation pour surmonter efficacement l'empoisonnement de la cible et la décharge anormale.
● L'alimentation adopte la technologie avancée d'alimentation d'onduleur à haute fréquence et le module d'alimentation IGBT pour réduire l'élément de stockage d'énergie de sortie, en conséquence, la couche de revêtement est extrêmement dense et lisse.
● En utilisant le microcontrôleur à écran tactile, l'alimentation est hautement intégrée et puissante avec une utilisation facile. L'affichage du courant et de la tension est très clair et intuitif.
● La technologie de suppression d'arc PHP garantit que les utilisateurs peuvent contrôler la qualité de la couche de revêtement plus pratique dans le processus de traitement de surface. En outre, ayant les caractéristiques de stabilisation de tension et de coup de fouet idéal, l'alimentation peut efficacement inhiber l'arc sur la surface de la pièce, et améliorer significativement le rendement de production, ainsi que la finesse de surface et l'adhérence du film.
● L'alimentation offre trois modes (tension constante, courant constant et puissance constante) parmi lesquels choisir. Comparé au mode courant constant traditionnel, le mode de puissance constante peut mieux assurer la répétabilité du processus de revêtement.
● L'alimentation peut communiquer avec l'ordinateur hôte via les ports numériques tels que RS232, RS485, WIFI, etc., ce qui étend sa fonction de contrôle.
● Avec une large gamme de puissance et de fréquence de sortie, l'alimentation peut répondre aux besoins de différentes applications de processus.
● Les paramètres principaux de celui-ci peuvent être ajustés dans une large gamme.
spécification
modèle du produit | EP80A125H |
Puissance d'entrée et fréquence (V / Hz) Thre Phase et Four Wire | AC380 + N |
| 60Hz | |
Plage de courant de sortie (A) | 0 ~ 80 |
Précision pour la tension constante et le courant constant | ≤1% |
1250 | |
Puissance de sortie maximale (KW) | 100 |
Cycle de service(%) | 80 |
Poids (kg) | 80 |
Dimensions externes (MM) | 575 (D) × 480 (W) × 250 (H) |
Catégorie d'isolation | B |
Productivité(%) | 90 |
Classe de protection de boîtier | Ip21 |
Mode de fonctionnement | La tension constante, le courant constant et les modes de puissance constante sont facultatifs. Sortie conventionnelle: courant constant |
Mode de refroidissement | Eau froide |
Interface externe | Cette série produits tous adoptent le microcontrôleur d'écran tactile |
Comparaison des performances par rapport à l'alimentation de pulvérisation de magnétron MF 30kw
Mode produit | 30kw Mid-Frequency | EP125A80H |
Fréquence (KHZ) | 40 | 40 |
Cycle de service(%) | 80 | 80 |
Tension (V) | 800 | 800 |
Courant (A) | 38 | 125 |
Puissance maximale (KW) | 30 | 100 |
Avantages de la source d'alimentation de pulvérisation de magnétron de puissance élevée MF EP125A80H
● Utilisation élevée de l'espace du four
EP125A80H nécessite moins de cibles de fréquence intermédiaire, et assure une utilisation plus élevée du four et une meilleure capacité de production.
● Excellente technologie de suppression d'arc
EP125A80H adopte la technologie de suppression d'arc PHP, de sorte que les utilisateurs peuvent facilement contrôler la qualité du film dans le processus de traitement de surface pour obtenir une meilleure structure du film.
Les utilisateurs peuvent remplacer l'alimentation électrique de pulvérisation cathodique magnétron existante avec EP125A80H directement, et seulement besoin de remplacer le système de refroidissement au lieu de remplacer les matériaux de la cathode et les champs magnétiques.
● Rapport puissance / volume élevé
Un rapport puissance / volume élevé facilite l'intégration de l'installation de l'équipement pour les utilisateurs.
Application
La source d'énergie de pulvérisation de magnétron de MF de puissance élevée est très utilisée dans le plasma, physique, chimique, médical et divers champs de recherche scientifique, elle peut répondre à une large gamme d'exigences de processus particulièrement dans l'équipement de revêtement sous vide.
