Jauges de vide et contrôleurs compatibles CDG025D 0.1 ~ 1000 Torr / mbar
INTRODUCTION La gamme de manomètres à diaphragme capacitif INFICON SKY CDG025D de haute précision à compensation de température est conçue pour une performance stable dans les environnements difficiles des outils de fabrication. L'électronique numérique avancée améliore les performances de la jauge et offre des fonctions de manipulation ...
- Présentation du produit
INTRODUCTION
La gamme de manomètres à diaphragme capacitif INFICON SKY CDG025D de haute précision compensés en température est conçue pour une performance stable dans les environnements difficiles d'outils de fabrication. L'électronique numérique avancée améliore les performances de la jauge et offre des fonctions de manipulation faciles telles qu'une fonction de bouton-poussoir zéro et un réglage du point de consigne. Le capteur céramique résistant à la corrosion offre une excellente stabilité à zéro avec une longue durée de vie de plusieurs millions de cycles de pression, y compris les salves atmosphériques. Un blindage de capteur unique (en attente de brevet) protège la jauge de la contamination du processus. Une conception mécanique robuste et une électronique numérique améliorent la compatibilité CEM, la stabilité à long terme et la compensation de température. Le CDG025D établit de nouvelles normes pour une stabilité rapide après la mise sous tension et une récupération rapide de l'exposition à la pression atmosphérique.
Les manomètres à diaphragme de capacité INFICON SKY CDG025D remplacent directement les émetteurs Oerlikon Leybold CTR 100. Obtenez l'original du fabricant avec un support global et des solutions pour toutes les applications.
AVANTAGES
◆ Entièrement compatible avec les émetteurs CTR 100
◆ Gammes pleine échelle de 100 mTorr ... 1000 Torr
◆ Stabilité rapide après la mise sous tension
◆ Récupération rapide de la pression atmosphérique
◆ Capteur céramique résistant à la corrosion
◆ Excellente stabilité du signal à long terme
◆ Température compensée
◆ Capteur protégé contre la contamination
◆ Une fonction de bouton-poussoir zéro
◆ Alimentation à large gamme
APPLICATIONS TYPIQUES
◆ Équipements de fabrication de semi-conducteurs pour Etch, CVD, PVD, ALD
◆ Stockage de données et équipement de fabrication d'affichage
◆ Equipement industriel sous vide
◆ Mesure de pression générale de haute précision
SPÉCIFICATION
| Type | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0,25 Torr | 0,1 Torr / mbar | |
| Précision | % de lecture | 0,2 | 0,2 | 0,2 | 0,25 | 0.5 |
| Effet de la température | ||||||
| sur zéro | Pourcentage FS / ° C | 0,005 | 0,005 | 0,015 | 0,02 | 0,02 |
| sur la durée | % de lecture / ° C | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,03 | 0,03 |
| Résolution | pour cent FS | 0,003 | 0,003 | 0,003 | 0,003 | 0,003 |
| Pression, max. | kPa (absolue) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
Temps de réponse | Mme | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| Lecture la plus basse | pour cent FS | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 |
| Lecture la plus faible suggérée | pour cent FS | 0,05 | 0,05 | 0,05 | 0,05 | 0,05 |
| La plus basse pression de contrôle suggérée | pour cent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| Température | ||||||
Opération (ambiant) | ° C | +5 ... +50 | +5 ... +50 | +5 ... +50 | +5 ... +50 | +5 ... +50 |
| Cuisson à la bride | ° C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| Espace de rangement | ° C | -40 ... +65 | -40 ... +65 | -40 ... +65 | -40 ... +65 | -40 ... +65 |
| Tension d'alimentation | V (dc) | +14 ... +30 | +14 ... +30 | +14 ... +30 | +14 ... +30 | +14 ... +30 |
Puissance consommation | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
Signal de sortie (analogique) | V (dc) | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
Diplôme de protection | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
| Normes | ||||||
| Conformité CE | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010 et RoHS | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010 et RoHS | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010 et RoHS | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010 et RoHS | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010 et RoHS | |
| Certification ETL | UL 61010-1, CSA 22.2 No. 61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No. 61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No. 61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No. 61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No. 61010-1 | |
Électrique connexion | D-sub, 15 pôles, mâle | D-sub, 15 pôles, mâle | D-sub, 15 pôles, mâle | D-sub, 15 pôles, mâle | D-sub, 15 pôles, mâle | |
| Matériaux exposés au vide | Aluminium céramique d'oxyde (AI2O3), Vacon 70, acier inoxydable (AISI 316L), AgCuTi dur soudure, verre d'étanchéité | Aluminium céramique d'oxyde (AI2O3), Vacon 70, acier inoxydable (AISI 316L), AgCuTi dur soudure, verre d'étanchéité | Aluminium céramique d'oxyde (AI2O3), Vacon 70, acier inoxydable (AISI 316L), AgCuTi dur soudure, verre d'étanchéité | Aluminium céramique d'oxyde (AI2O3), Vacon 70, acier inoxydable (AISI 316L), AgCuTi dur soudure, verre d'étanchéité | Aluminium céramique d'oxyde (AI2O3), Vacon 70, acier inoxydable (AISI 316L), AgCuTi dur soudure, verre d'étanchéité | |
| Volume interne | ||||||
| Tube 1/2 '' | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
| DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
| DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
| 8 VCR® | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
étiquette à chaud: Jauges de vide et contrôleurs compatibles CDG025D 0.1 ~ 1000 Torr / mbar, Chine, fabricants, fournisseurs, acheter, personnalisé, fabriqué en Chine
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