Pièces de rechange des éléments de cachetage pour la machine de revêtement de vide de Multi-Arc de ZY-1313 Magnetron

Liste des pièces de rechange

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Liste des pièces de rechange

NON.	Article	Matériel	Qté	Objectif	Remarque
1	Bague d'étanchéité φ 2.5x2.5	FKM	2	Thermométrie	Psrts de réserve * 2
2	Emballage à lèvres L4750	Caoutchouc sous vide	1	Joint de porte	Psrts de réserve * 2
3	Joint torique φ 15x4	FKM	9	Porte-jauge	Psrts de réserve * 2
4	Joint torique φ 25x4	FKM	8	Chauffe-eau	Psrts de réserve * 2
5	Joint torique φ 25x4	FKM	4	Chauffe-eau	Psrts de réserve * 2
6	Joint torique φ 458x8	NBR	2	soupape	Psrts de réserve * 2
7	Joint torique φ 64x4	FKM	2	soupape	Psrts de réserve * 2
8	Joint torique φ 31x4	FKM	6	soupape	Psrts de réserve * 2
9	Joint torique φ 408x7	FKM	2	soupape	Psrts de réserve * 2
dix	Joint torique φ 710x10	NBR	1	Unité	Psrts de réserve * 2
11	Joint torique φ 170x5	NBR	1	Unité	Psrts de réserve * 2
12	Joint torique φ 108x5	NBR	1	Unité	Psrts de réserve * 2
13	Joint torique φ 85x4	NBR	4	Unité	Psrts de réserve * 2
14	Joint torique φ 104x4	NBR	2	Unité	Psrts de réserve * 2
15	Joint torique φ 15x4	FKM	2	G auge titulaire	Psrts de réserve * 2
16	Joint torique φ 105x5	FKM	2	Support rotatif	Psrts de réserve * 2
17	Joint d'huile 15x35x10	Caoutchouc	2	Soupape de râpage pneumatique	Psrts de réserve * 2
18	Joint torique φ 42x4	NBR	2	Soupape de râpage pneumatique	Psrts de réserve * 2
19	Joint d'étanchéité Skeletion 10x22x7	NBR	20	Source d'arc	Psrts de réserve * 2
20	Joint torique φ 18x3	NBR	20	Source d'arc	Psrts de réserve * 2
21	Joint torique φ 108x5	FKM	dix	Source d'arc	Psrts de réserve * 2
22	Joint torique φ 102x5	FKM	dix	Source d'arc	Psrts de réserve * 2
23	Emballage à lèvres L3120	Caoutchouc	2	Source d'arc	Psrts de réserve * 2
24	Joint torique φ 15x2.8	FKM	4	Cible d'or planaire	Psrts de réserve * 2
25	Joint torique φ 17x3	FKM	8	Cible d'or planaire	Psrts de réserve * 2
26	Joint torique φ 35x3	FKM	8	Cible d'or planaire	Psrts de réserve * 2
27	Joint torique φ 145x2	FKM	4	Cible d'or planaire	Psrts de réserve * 2
28	Joint torique φ 680x3	FKM	2	Cible d'or planaire	Psrts de réserve * 2
29	Joint de porte L3000	Caoutchouc sous vide	1	Cible d'or planaire	Psrts de réserve * 2
30	Joint torique φ 75x5	FKM	4	Cible d'or planaire	Psrts de réserve * 2
31	Joint d'huile 50x75x12	Caoutchouc	8	Cible d'or planaire	Psrts de réserve * 2
32	Joint d'huile 18x35x7	NBR	4	Déflecteur de cible planaire	Psrts de réserve * 2
33	Joint torique φ 15x3	FKM	2	100 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
34	Joint torique φ 22x4	NBR	2	100 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
35	Joint d'huile 35x50x10	NBR	2	100 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
36	Joint torique φ 115x5	FKM	2	100 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
37	Joint torique φ 125x5	FKM	2	100 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
38	Joint d'huile 45x65x10	FKM	4	100 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
39	Joint torique φ 85x4	FKM	4	100 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
40	Joint torique φ 11x4	NBR	2	70 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
41	Joint d'huile 20x36x10	NBR	2	70 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
42	Joint torique φ 80x5	FKM	2	70 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2
43	Joint torique φ 90x5	FKM	2	70 Cylindercial cible	Psrts de réserve * 2

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