Quelle est la structure de l'équipement de revêtement sous vide

Nov 08, 2017|

L'équipement de revêtement sous vide est l'équipement le plus largement utilisé pour faire des conditions de vide. Il est largement utilisé. Aujourd'hui, notre vie ne peut en être séparée. Aujourd'hui nous verrons sa structure et son principe de fonctionnement.

Vide vide corps principal vide

Selon les exigences de différents produits, chambres de différentes tailles, maintenant avec un diamètre maximum de 1.3M, application de 0.9M, 1.5M, 1.8M etc., la chambre est composée d'acier inoxydable, pas de rouille, solide, chaque partie de la chambre à vide est connecté à la vanne, utilisé pour connecter la pompe d'aspiration.

Deux. Système de contrôle de formation de film

Il y a beaucoup de méthodes d'application de moniteur de film mince dans la machine de revêtement sous vide, telle que la méthode de surveillance visuelle, la surveillance de valeur fixe, la surveillance d'oscillation de cristal, la surveillance de temps et ainsi de suite.

Trois. Système de pompage auxiliaire

Le système d'échappement utilise la composition "pompe à diffusion + pompe mécanique + pompe à racines + cryogénie cryogénique + polycold".

Quatre. Système d'évaporation

Le système d'évaporation se réfère principalement au dispositif de formation de film, et la machine d'enrobage comporte de nombreux dispositifs de formation de film, tels qu'un chauffage par résistance, une évaporation par canon à électrons, une pulvérisation cathodique par magnétron, une pulvérisation RF, un placage ionique et autres.

Une machine de revêtement sous vide complète est composée d'un certain nombre de systèmes, chaque système peut effectuer différentes fonctions, ce sont ces structures, la réalisation finale de revêtement de haute qualité.


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