Classification et application de jauge de vide d'équipement de vide

Classification et application des vacuomètres pour équipements sous vide

Dans le contrôle automatique du dispositif à vide de l'équipement de revêtement sous vide, une mesure du vide est souvent nécessaire. En raison de la grande variété d'appareils à vide et des différentes plages de pression de travail, la mesure du vide dans diverses zones de vide de 105 Pa à 10-5 Pa peut être rencontrée. Les jauges de vide couramment utilisées comprennent la jauge de vide à résistance, la jauge de vide à thermocouple, la jauge de vide à couche mince de capacité, la jauge de vide à ionisation, la jauge de vide ultra-élevé, etc. Afin d'étendre les fonctions de la jauge de vide, le fabricant de l'instrument à vide produit également de modules fonctionnels comme télécommande et télémétrie, sortie analogique, interface de communication RS-232C et régulation de pression que les utilisateurs peuvent choisir et assortir. Par conséquent, la distribution d'un manomètre à vide complet, non seulement à la mesure du degré de vide, à l'affichage numérique, à la commutation automatique de plage, à la correction d'erreur, mais aussi au contrôle du signal de consigne de pression pour contrôler la pression, la pression s'ajuste automatiquement en fonction de la pression définie valeur, également les valeurs mesurées peuvent être imprimées, contacter et communiquer avec le PC, peuvent même mesurer et contrôler le vide à distance. 1. Instrument de contrôle de la pression dans la production industrielle et les expériences scientifiques, on s'attend souvent à ce que le degré de vide dans la chambre à vide du dispositif à vide puisse être maintenu à une valeur donnée en fonction des exigences de la technologie du vide. Cette exigence peut généralement être remplie en ajustant manuellement la vanne de réglage fin du vide.Si vous souhaitez terminer automatiquement le réglage de la pression, il est nécessaire d'utiliser l'instrument de contrôle de la pression pour terminer. L'instrument de contrôle de pression est généralement composé d'une unité de mesure du vide (jauge à vide), d'un circuit de régulation de pression automatique et d'une vanne de régulation de vide. C'est un instrument de contrôle automatique intégrant la mesure du vide et la régulation de la pression. Instrument de contrôle de pression domestique principalement HY, ZDC, SYK, DL, ZZK et d'autres produits. Les principaux indices techniques de l'instrument de contrôle de pression sont la plage de contrôle de pression, la précision de contrôle, la plage de contrôle de débit, le temps de réaction, etc. Cela dépend des performances du régulateur de vide, du circuit de contrôle et du régulateur de vide. Le contrôleur de pression est largement utilisé dans les domaines de l'implantation ionique, de la gravure par faisceau ionique, du revêtement sous vide, de la technologie laser et des matériaux semi-conducteurs.

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