Type typique de système de vide

Le système qui répondait à certaines exigences du processus, capable d'obtenir et de mesurer le vide spécifique requis, est appelé système sous vide. Un système de vide plus complet comprend une chambre à vide, une pompe à vide ou une unité d'aspiration, un dispositif de mesure du vide, un conduit de raccordement, une soupape de dépression, un piège et d'autres composants sous vide et un système de commande électrique. Le système de vide typique est montré dans Fig.1 et Fig.2.

1. Soupape de purge de la chambre à vide 2. Indicateur de vide d'ionisation 3. Indicateur de vide de thermocouple 4. Vanne de régulation de débit

5. Soupape de vide élevé 6. Pompe de diffusion 7. Réservoir de stockage de gaz

8. Jauge de thermocouple (mesure la pression de pré-étape de pompe de diffusion) 9. Valve de support 10. Capteur de pression

11. Vanne de pré-pompage 12. Pompe à vide Roots 13. Vanne de by-pass 14. Vanne de purge électromagnétique

15. Pompe à vide mécanique

Fig.1 Schéma d'un système de vide typique

1. Chambre de vide 2. Jauge de vide d'ionisation 3. Jauge de vide de thermocouple 4. Soupape de dégonflage

5. Soupape de vide élevé 6. Piège à froid 7. Pompe de diffusion 8. Soupape d'arrêt 9. Soupape de purge électromagnétique

10. Pompe à vide mécanique 11 Soupape de pré-pompage

Fig.2 Schéma d'un système de vide typique