La vitesse d'extraction du méthane par pompe ionique
Sep 19, 2023| La vitesse d'extraction du méthane par pompe ionique
Le méthane est l’une des principales causes de l’atténuation du faisceau de l’accélérateur. En tant que produit de la réaction entre l’hydrogène et le carbone dans les matériaux métalliques, le méthane est une source de gaz courante dans les systèmes à ultra-vide.
Bien que le méthane ne soit pas un gaz inerte, il ne réagit avec aucun getter, ni avec le matériau cathodique pulvérisé dans la pompe à ions, de sorte que la pompe à ions bipolaire ordinaire n'a presque pas de vitesse de pompage pour le méthane, similaire au processus de gaz inerte. gaz, je veux pomper du méthane, nous avons dû enterrer les pompes ioniques StarCell et Noble Diode, plus efficaces.
En raison de la décharge de Penning dans la pompe à ions, les molécules de méthane (ainsi que d'autres molécules d'hydrocarbures) sont fissurées et converties en particules plus petites (C, CH3,... H), qui ont une plus grande probabilité d'être « pompées » et la pompe ionique StarCell pompera encore plus rapidement pour le méthane et les hydrocarbures légers que pour l'azote.

Société IKS PVD, machine de revêtement décoratif, machine de revêtement d'outils, machine de revêtement DLC, machine de revêtement optique, ligne de revêtement sous vide PVD, le projet clé en main est disponible. Contactez-nous maintenant, e-mail : iks.pvd@foxmail.com


