Le système d'entraînement et le système de refroidissement des équipements de revêtement PVD
Mar 31, 2018| Système de conduite
Le système d'entraînement permet au substrat de s'écouler de la mise du substrat dans le dispositif pour le dépôt par pulvérisation cathodique, à la sortie du dispositif après l'achèvement du traitement. Le système d'entraînement est composé d'un moteur d'entraînement, d'une molette de défilement, d'un convertisseur de fréquence, etc. Les raisons d'ajouter le système d'entraînement sont:
(1) Assurez-vous que les revêtements d'épaisseur uniforme sont largement distribués.
(2) Facile à réaliser la transmission automatisée.
Système de refroidissement
Le système de refroidissement est principalement composé de la pompe moléculaire, de la chambre, du groupe de pompage et de l'eau de circulation du moteur d'entraînement. Sa fonction principale est de refroidir la chambre à vide, la pompe, l'entraînement, l'alimentation, etc. Les exigences de l'eau de refroidissement sont:
(1) Température: 17 ~ 22 ° C;
(2) Pression: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Les particules magnétiques doivent être retirées de l'eau et l'eau doit être ramollie, pH = 6 ~ 8.