Les meilleures techniques de détection de fuite pour la machine de revêtement PVD

Bubble Méthode de détection

La détection de la méthode des bulles de revêtement PVD est préférée pour les récipients de revêtement PVD ou les dispositifs en cours de traitement. La détection de la méthode des bulles de revêtement PVD consiste à remplir la pièce testée avec un certain gaz d'indication de fuite de pression, puis à mettre la pièce testée dans le liquide. Le gaz pénètre dans le liquide environnant à travers le trou de fuite pour former des bulles. Et l'endroit où sont les bulles est la position du trou de fuite. De plus, le taux de fuite du trou peut être estimé en fonction du taux de formation et de la taille des bulles, ainsi que des propriétés physiques du gaz indicateur de fuite.

Détection de la méthode de couverture

Méthode de couverture La méthode de couverture consiste à recouvrir tout le dispositif de revêtement PVD avec un sac en plastique d'éthylène (couvercle), puis à remplir le sac d'hélium, c'est-à-dire à immerger le tout dans l'hélium pour détecter les fuites. Après avoir complètement évacué le gaz, faites que la soupape principale, la soupape grossière et la soupape de fuite s'éteignent. Ensuite, utilisez une jauge de vide à ionisation BA pour mesurer le changement de pression pour déterminer s'il y a des fuites.

Le revêtement PVD est la somme de l'augmentation de pression due à la fuite de gaz et de l'augmentation de pression provoquée par le dégazage de la matière, et finalement c'est une augmentation linéaire qui est proportionnelle au temps. Lorsque la courbe de revêtement PVD présente un état tel que décrit ci-dessus, cela signifie que le dispositif fuit. Lorsqu'il n'y a pas de fuite et que seul le produit dégaze, la courbe doit être saturée. S'il n'y a qu'une fuite sans dégazage, c'est une ligne droite qui est proportionnelle à l'heure au début.