Structure de la jauge de vide de résistance (jauge de vide de Pirani)
May 28, 2018| La jauge à vide de résistance, également connue sous le nom de jauge de Pirani, reflète les changements de pression basés sur les changements de résistance aux filaments chauds. Il est principalement composé de circuits de mesure et de mesure. La plage de mesure est de 104 à 10-1 Pa.
La structure de la jauge de résistance est représentée sur la figure 1. Un fil chaud en spirale cylindrique enroulé avec un fil de résistance à coefficient de température élevé est encapsulé dans le boîtier du régulateur. Les deux extrémités du fil chaud sont sorties du tube de mesure et relient la ligne de mesure. La coquille de jauge peut être faite de métal ou de verre. La coquille métallique a les avantages de la durabilité, l'enlèvement pratique des filaments chauds, etc. Les inconvénients sont une mauvaise performance d'étanchéité et un prix élevé. La coquille de verre a les avantages d'une bonne performance d'étanchéité et d'un faible prix, et l'inconvénient est qu'elle est facilement endommagée.
Le coefficient de température de résistance et la résistivité de certains fils de résistance qui enroulent le fil chauffant sont indiqués dans le tableau 4-1, parmi lesquels le tungstène, le platine et le nickel sont couramment utilisés. Afin d'assurer la stabilité de fonctionnement du fil chaud, en plus de nettoyer la surface du fil chaud, parfois une fine couche de verre, de quartz ou de tantale est appliquée sur la surface du fil chaud pour éviter l'oxydation ou la contamination du fil quand il est utilisé sous haute pression. Mais on pense que cette méthode augmentera son inertie thermique.
Métal: Tungstène Platine Nickel Chrome Iridium Molybdène Fer Cuivre Argent
Température de résistance
Coefficient en 0 ℃ 4,82 3,9 6,0 2,5 4,1 4,71 6,0 4,329
(10 -3 · ℃ -1 )
Résistivité en 0 ℃ 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59
px10 -8 (Ω · m)
Tableau 4-1 Coefficient de température de résistance et résistivité de certains métaux