Structure et diagramme schématique de la pompe moléculaire

Les composants de base de la pompe moléculaire sont des lames rotatives et des lames stationnaires (figure 1). La vitesse de rotation de la lame rotative atteint 1800 à 90000 tr / min, la vitesse à l'extrémité de la lame atteint plusieurs centaines de mètres par seconde, ce qui est proche de la vitesse moyenne de la molécule. Et les molécules de gaz sont transportées vers le port d'échappement par collision avec lui. Lorsque la lame rotative réglée pour être sous-tendue tourne à grande vitesse, la probabilité que les molécules de gaz se déplacent du côté aspiration vers le côté échappement est A, et la probabilité que les molécules de gaz passent du côté échappement au côté aspiration est B. La lame en rotation heurte les molécules de gaz, puis les molécules de gaz heurtent la lame fixe et volent jusqu'à la prochaine lame rotative, finalement la molécule de gaz est éjectée vers l'orifice d'échappement, faisant A> B pour atteindre la fonction d'échappement.

Vitesse d'échappement de la pompe moléculaire = surface d'ouverture du côté d'aspiration × 11,6 × A / Bp

Dans la formule, p se réfère à l'augmentation de la valeur de la pression.

Le plus grand de l'angle de la lame, le plus élevé de la vitesse d'échappement plus faible du taux de compression. Si l'angle de la lame est faible, la vitesse d'échappement est faible et le taux de compression est important. La vitesse d'échappement de la pompe moléculaire n'est presque pas affectée par le type de gaz, et la pression finale de la pompe peut être de 10-8 Pa, mais la vitesse d'échappement sera réduite pour les molécules / atomes légers.

En tant que pompe mécanique à vitesse de rotation élevée, la pompe moléculaire nécessite un équilibre élevé et est très fragile vis-à-vis des corps étrangers solides. Alors généralement, un filtre métallique est installé à l'entrée de celui-ci. Lorsque la pompe moléculaire fonctionne, les lames peuvent être endommagées si la pression se détériore soudainement.

Fig.1 Structure et diagramme schématique d'une pompe moléculaire

Les pompes moléculaires conventionnelles utilisent des paliers pour assurer une rotation à grande vitesse des pales. Mais la pompe moléculaire de type nouveau adopte une structure de lévitation magnétique, qui augmente la vitesse de la lame, et en même temps la pompe moléculaire est plus adaptée au système à ultra-vide, elle prolonge également la durée de vie de la lame. pompe moléculaire.

Par rapport aux pompes à palettes à bain d'huile et aux pompes sèches de type turbo, les pompes moléculaires ont un environnement de travail plus propre et peuvent atteindre des niveaux de vide extrêmement élevés. Cependant, les pompes moléculaires ne peuvent pas fonctionner à la pression atmosphérique et doivent être utilisées en combinaison avec d'autres pompes à vide dégrossies (pompes à palettes à bain d'huile ou turbopompes) fonctionnant à la pression atmosphérique. La pompe moléculaire a une structure compliquée et un prix élevé, et il y a une vibration pendant la rotation à haute vitesse.