Mécanismes de réaction de CVD
May 23, 2023| La CVD peut être réalisée en utilisant divers types de mécanismes de réaction, tels que la CVD thermique, la CVD assistée par plasma et la CVD assistée par la lumière. Chaque mécanisme a ses avantages et ses inconvénients, et le choix du mécanisme dépend des propriétés et des applications souhaitées du film.
Dans un CVD chaud, le gaz précurseur est chauffé à des températures élevées pour favoriser la réaction chimique de dépôt d'un film solide sur le substrat. Dans la CVD assistée par plasma, le gaz précurseur est ionisé pour produire du plasma, ce qui favorise les réactions chimiques et augmente les taux de dépôt. Dans un CVD photo-amélioré, le gaz précurseur est irradié avec une lumière ultraviolette pour favoriser une réaction chimique.
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