Problèmes et Solutions de revêtement DLC
Mar 20, 2018| Propriétés du revêtement DLC
La performance de la DLC est entre le diamant et le graphite, qui indique une dureté élevée et frottement excellent, comme bien aussi bonnes propriétés anti-adhésives.
◆ Propriétés mécaniques :
Dureté élevée, haut module d’élasticité, conductivité thermique, coefficient de dilatation thermique faible, faible densité, résistance à l’usure excellente et faible coefficient de frottement.
◆ Propriétés électriques :
Affinité électronique faible, résistivité électrique élevée, faible constante diélectrique
◆ Propriétés optiques :
Transmittance élevée en lumière visible et proche infrarouge régions, faible bande optique interdite, indice de réfraction est de 1,7 à 2,4, seuil de dommage laser haute.
◆ Propriétés chimiques :
Bonne biocompatibilité, ultra haute inertie chimique, résistance d’acide et d’alcali, bonne hydrophobicité.
Problèmes et Solutions de revêtement DLC
Problèmes
◆ Contraintes internes élevées
Dans des circonstances normales, la contrainte interne, le module d’élasticité et la dureté de l’enduit sont directement proportionnels aux uns aux autres, afin que plus la dureté de l’enduit, plus la contrainte interne. DLC film a très haute dureté, ainsi que haute contrainte interne, ce qui rend l’adhérence du film DLC au substrat réduit, et aussi, elle limite l’épaisseur maximale d’un film stable qui peut être déposé sur le substrat. En outre, l’uniformité de l’épaisseur du film a aussi un effet sur le stress interne.
◆ Mauvaise stabilité thermique
DLC est généralement une structure non cristallin phase métastable. Par conséquent, pendant la température augmente, revêtement DLC va être graphitée, c'est-à-dire la liaison sp3 se tournent vers le bond de sp2, ainsi, la structure et performance du revêtement DLC sera modifié.
Solutions
◆ Film multicouche
Les dépôts de films multicouches DLC/TiC/Ti et Ti/étain/TiCN/DLC sur le substrat peuvent réduire considérablement le stress interne entre le revêtement DLC et le substrat.
◆ Film dégradé
Gradient de dépôt transitoire couches Cr/CrN/RRCC/CrC/Cr-DLC et Ti/étain/TiCN/TiC/Ti-DLC par source et pulvérisation cathodique technologie de dépôt ion sur le substrat peut efficacement libérer stress et améliorer efficacement la force de la liaison entre le revêtement et le substrat.
◆ Le dopage
Le dopage non métalliques (N, B, Si) peut réduire le stress interne de revêtement DLC et améliorer sa stabilité thermique. Dopage de métal (Cr, Ti, W) peut améliorer la dureté et résistance du revêtement DLC à l’usure, et réduire son coefficient de frottement.