Types de précurseurs d'ALD

L'ALD peut être réalisée à l'aide de divers types de précurseurs, tels que des composés organométalliques, des halogénures, des oxydes et des nitrures. Le choix des précurseurs dépend de la composition et des propriétés souhaitées du film. Par exemple, les précurseurs organométalliques sont couramment utilisés pour déposer des membranes métalliques, tandis que les halogénures sont utilisés pour déposer des membranes aux halogénures métalliques.

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