Température du substrat PECVD
Jul 10, 2023| L'influence de la température du substrat sur la qualité du film réside principalement dans la densité d'état local, la mobilité des électrons et les propriétés optiques du film. L'augmentation de la température du substrat est bénéfique pour la compensation de la liaison de suspension à la surface du film, et la densité de défauts du film diminue.
La température du substrat a peu d'effet sur la vitesse de dépôt, mais un effet important sur la qualité du film. Plus la température est élevée, plus la densité du film de dépôt est élevée, plus la température est élevée et améliore la réaction de surface et améliore la composition du film.
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