Problèmes courants des équipements PECVD - Faible taux de dépôt

Problèmes courants des équipements PECVD - Faible taux de dépôt

(1) Si la puissance d'entrée RF est inappropriée, réglez la puissance RF.

(2) Si la température de l'échantillon est anormale, vérifiez si le débit et la température de l'eau de refroidissement sont normaux.

(3) La pression de la chambre à vide est faible, réglez le débit de gaz de procédé.

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