Étapes de maintenance de la machine de revêtement sous vide

Tout d'abord, il faut s'assurer que la machine de revêtement est en contact total avec le sol. La pompe à diffusion et la pompe d'appoint d'huile doivent être raccordées à l'eau de refroidissement avant de chauffer et activer la pompe de maintien. De plus, la pompe de maintien doit être maintenue pendant une demi-heure après l'arrêt de la pompe à diffusion et de la pompe d'appoint. L'eau devrait être coupée après une heure. Mais si la pompe n'est pas refroidie à une température inférieure à 80 ° C, l'eau de refroidissement ne doit pas être coupée pour éviter que le noyau de la pompe ne soit brûlé.

La pompe à diffusion et la pompe de surpression ont toutes deux une sortie d'eau de secours. Si la machine de revêtement ou l'alimentation tombe en panne, la sortie de veille doit être utilisée pour refroidir la pompe à diffusion et la pompe de surpression. Avant l'opération de revêtement, tous les équipements doivent être connectés au système d'eau de refroidissement pour éviter que les électrodes et le substrat ne soient brûlés. La pompe de diffusion et la pompe de surpression d'huile ne doivent pas entrer en contact avec l'atmosphère lors du chauffage, afin d'éviter l'oxydation de l'huile de la pompe. Vérifiez et ajustez régulièrement le relais de débit d'eau pour voir si l'alarme de coupure d'eau est normale et assurez-vous que l'alimentation en eau de refroidissement de l'équipement est débloquée. Lors du démontage et de l'assemblage des pièces de la machine de revêtement, veillez à protéger les surfaces de travail d'étanchéité contre les rayures mécaniques ou les dommages, afin d'assurer une étanchéité fiable de la machine de revêtement.

Les parties scellées sous vide des arbres de transmission sont toutes scellées sous la forme de «joints d'huile de cadre». Les bagues d'étanchéité sont remplies de graisse à vide et d'huile de pompe à diffusion avec une très faible pression de vapeur d'huile saturée. Il s'use pendant un moment et doit être rempli avec la même graisse de vide et l'huile de pompe à diffusion. S'il vous plaît noter que n'utilisez jamais d'autres huiles à la place.