Principales propriétés de DLC Coating-Mechanical Properties
Aug 11, 2021| Principales propriétés du revêtement DLC -Propriétés mécaniques
A.Dureté et module d’élasticité. La dureté et le module d’élasticité des films DLC préparés par différentes méthodes de dépôt varient considérablement. La dureté des films DLC peut atteindre ou même dépasser celle du diamant par la méthode de l’arc cathodique filtrant magnétique, et la dureté maximale des films DLC préparés par la méthode de l’arc cathodique peut atteindre plus de 50GPa. La dureté des films DLC préparés par source ionique combinée à une pulvérisation magnétron hors équilibre a atteint 21GPa. La composition dans la couche de film a une certaine influence sur la dureté de la couche de film, et l’incorporation de Si et N peut améliorer la dureté du film DLC. Le film DLC a un module d’élasticité élevé, inférieur à celui du diamant (1100GPa), mais nettement supérieur à celui des métaux et céramiques généraux.
B.Contrainte interne et force de liaison. La contrainte interne et la force de liaison du film sont deux facteurs importants qui déterminent la stabilité et la durée de vie du film et affectent les performances du film. Le film DLC avec une contrainte interne élevée et une faible force de liaison est sujet à la fissuration, au pliage ou même à la chute dans l’application, de sorte que le film DLC préparé doit avoir une contrainte de compression modérée et une résistance de liaison élevée. La plupart des études montrent que la force de liaison film/base du film DLC déposé directement sur la matrice est généralement relativement faible. La couche de transition de gradient intermédiaire de Ti/TiN/TiCN/TiC est adoptée pour améliorer la force de liaison du film DLC et de la matrice. La force de collage du film DLC déposé sur l’acier de la matrice atteint 44N-74N. L’épaisseur totale de la membrane peut atteindre 5 microns.
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