Première nitruration puis dépôt du moule à revêtement dur

▲ Figure 10 Première nitruration puis dépôt du moule à revêtement dur

La technologie du plasma à électrons chauds est également utilisée dans la nitruration ionique. Un filament chaud est ajouté dans un four de nitruration ionique. Le flux d'électrons à haute énergie et haute densité émis par les filaments W, Mo et Ta est utilisé pour ioniser l'azote et améliorer la densité des ions azote. Le temps de nitruration a été réduit de 20 heures à 4 heures. FIGUE. La figure 11 montre le four de nitruration ionique avec filament chaud ajouté. Figure 1- Admission d'air, 2- pièce, 3- pompe, 4- chambre à vide, 5- filament thermique, 7- alimentation d'accélération thermo-électron. (6- cible magnétron -- à l'origine équipement de pulvérisation magnétron, la fonction de pulvérisation magnétron n'a pas été utilisée dans cette expérience).

▲ Figure 11 Ajouter un four de nitruration ionique à filament chaud

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