Effet du procédé de fabrication de revêtement de PVD sur l'épaisseur de revêtement
Mar 26, 2018| La chose la plus importante dans le processus de revêtement PVD est la méthode de serrage, qui déterminera l'épaisseur et l'uniformité du revêtement. Et il ne fait aucun doute que l'épaisseur du revêtement affecte sa durée de vie. Cependant, ce n'est pas le plus épais du revêtement, meilleure est sa durée de vie. Sur la même pièce, une application différente nécessite une épaisseur différente. Et une autre pièce à usiner a également besoin d'une épaisseur différente. Ainsi, le contrôle de l'épaisseur du revêtement est important.
L'épaisseur du revêtement est principalement déterminée par la procédure de revêtement. Certaines procédures ont une certaine gamme d'épaisseur de revêtement, et l'épaisseur du revêtement varie sensiblement dans cette plage. Cependant, le procédé de serrage de la pièce affecte également considérablement l'épaisseur du revêtement. Sous un serrage incorrect, l'épaisseur du revêtement dépassera la plage définie par le programme.
La dimension de rotation de la pièce affecte l'épaisseur du revêtement. Les pièces à usiner doivent être tournées dans la chambre tout en étant revêtues. Il y a trois manières de rotation de la pièce: rotation à une dimension, rotation à deux dimensions et rotation à trois dimensions. Pour la même procédure de revêtement, plus les dimensions de rotation, le revêtement plus mince. L'épaisseur du revêtement de spin bidimensionnel est d'environ 5 fois l'épaisseur du revêtement de spin tridimensionnel, et l'épaisseur du revêtement de spin unidimensionnel est d'environ 1,5 fois l'épaisseur du revêtement de spin bidimensionnel. En supposant une épaisseur de revêtement d'une rotation en trois dimensions est de 2 um, puis l'épaisseur de revêtement de la pièce tournante bidimensionnelle est d'environ 3 um, tandis que l'épaisseur de revêtement de rotation rotative unidimensionnelle peut atteindre 4,5 um ou plus.
Lors du serrage de la pièce, la densité de la pièce affecte également l'épaisseur du revêtement. L'épaisseur de revêtement de la pièce où le serrage est intensif est faible, et l'épaisseur de revêtement de la pièce où le serrage est faible est grande.
La figure ci-dessus montre la répartition de l'épaisseur du revêtement sur une seule dent d'une plaque de cuisson. La figure ci-dessous montre la répartition de l'épaisseur du revêtement à différentes positions d'un foret.
Ainsi, on peut voir que l'épaisseur des différentes parties de l'outil est grandement affectée par le serrage, nous devons donc déterminer la méthode de serrage basée sur l'expérience.