Dépôt laser pulsé DLC (PLD)
Jan 12, 2024| Le dépôt laser pulsé DLC (PLD) signifie que le faisceau laser pulsé est introduit dans la cavité à travers la lentille de focalisation et la fenêtre en quartz, et projeté sur la cible rotative en graphite. Sous l'action du laser à haute densité d'énergie, la décharge de plasma laser se forme, les ions carbone produits ont une énergie de 1 keV et la structure à quatre coordinations de la liaison sp3 est formée sur la matrice. Enfin, formez un film semblable à un diamant. Avec un taux de dépôt élevé, des films de type diamant sans hydrogène avec une teneur élevée en sp3 peuvent être obtenus, mais la consommation d'énergie est élevée et la zone de dépôt est petite.
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