Histoire de développement de l'histoire de développement de pompe moléculaire
May 23, 2018| 1. Pompe moléculaire précoce
En 1912, un Allemand nommé W.Gaede a inventé la première pompe moléculaire au monde, le diamètre de son rotor est de 50mm, et il y a 8 fentes de différentes tailles sur les rotors. La vitesse de rotation est de 12 000 tr / min et la vitesse de pompage est d'environ 1,5 L / s. Le principe de fonctionnement de cette première pompe est le même que celui de la pompe moléculaire moderne, mais il est rapidement éliminé en raison de beaucoup d'échec, donc il n'a pas été popularisé.
En 1926, M. Siegbahn a développé une pompe moléculaire à disque dans le laboratoire universitaire suédois. Sa structure est similaire à celle de la pompe moléculaire moderne de type drag. Le corps de la pompe comporte des rainures en spirale et le rotor est un disque. En 1939, LE BOLD a produit deux pompes d'un diamètre de 540 mm. Les dimensions de la rainure sont 22mm x 22mm à l'intérieur et 22mm x 1mm à l'extérieur. La vitesse de rotation est de 3700r / min et la vitesse de pompage est de 73L / s.
Les pompes moléculaires précoces sont toutes des pompes moléculaires de type à traction. Avec les inconvénients de grands volumes, de faibles vitesses de pompage, de petits espaces et de nombreux défauts, il est soumis à de nombreuses restrictions d'application, et par conséquent, il ne peut être utilisé dans certains domaines spéciaux et n'a pas été popularisé.
2. La naissance des pompes turbomoléculaires
En 1957, W. Becker de PFEIFFER GmbH en Allemagne a inventé une nouvelle pompe moléculaire, appelée pompe turbomoléculaire. La structure horizontale et la cavité de la pompe sont équipées de rangées de lames dynamiques et statiques. Le gaz entre par l'orifice d'admission au centre de la pompe et circule dans le canal d'aspiration des deux côtés du corps de la pompe. L'air comprimé est évacué par l'orifice d'échappement après avoir été comprimé par le réseau de feuilles. Le rotor de cette pompe turbomoléculaire est composé de 19 rangées de lames. Comme le montre la figure 2, le diamètre est de 170 mm, la vitesse de rotation est de 16 000 tr / min et la vitesse de pompage est de 140 1 / s.
En 1966, SENCMA Corporation développa en France une pompe turbomoléculaire verticale à 14 rangs, un diamètre de rotor de 286 mm, une vitesse de rotation de 12 000 tr / min et une vitesse de pompage de 650 l / s, ce qui crée la pompe turbomoléculaire verticale pionnière.
Il existe de nombreux fabricants de pompes moléculaires au Japon avec une forte capacité à concevoir et produire des pompes moléculaires. En 1971, l'Institut de recherche physique et chimique du Japon a développé avec succès une pompe moléculaire à 13 rangées de lames rotatives et une pompe moléculaire à rotor à palettes fixe de 12, le diamètre du rotor est de 300 mm et la vitesse de rotation est de 12 000 tr / min. En 1990, Osaka Vacuum Company du Japon a développé avec succès une pompe moléculaire à grande échelle avec une vitesse de pompage de 25 000 L / s.
À l'heure actuelle, la structure de base des pompes moléculaires modernes est horizontale et verticale. La pompe moléculaire horizontale présente les avantages d'une force uniforme du rotor, d'un bon état de la force de positionnement du roulement, d'une longue durée de vie, d'une position fixe du rotor pendant le remplacement du roulement et d'un entretien facile. Mais le processus d'assemblage de la pompe moléculaire verticale est plus simple que la pompe moléculaire horizontale, de sorte que la vitesse de développement de la pompe moléculaire verticale au cours des dernières années est très rapide.
3. Pompe moléculaire moderne
Depuis la naissance de la pompe moléculaire, il y a près de cent ans. Avec l'avancement continu de diverses science et technologie, la technologie de pompe moléculaire a également fait de nombreuses innovations et percées. La pompe moléculaire moderne est plus intelligente, flexible et efficace.
Au cours des dernières années, avec le développement rapide de la théorie du contrôle et de la technologie informatique et appliquée aux pompes moléculaires, les pompes moléculaires ont été commandées par ordinateur, et ont réalisé le contrôle à distance de la pompe. Dans le même temps, sur la base de la technologie de l'information, les systèmes de sécurité et de surveillance ont conduit au développement de pompes moléculaires dans le sens de l'intelligence.
La vitesse de pompage est le paramètre central de la pompe moléculaire. L'augmentation de la vitesse de rotation est l'une des méthodes les plus directes pour augmenter la vitesse de pompage. Avec le développement de la technologie d'équilibrage dynamique, le rotor de la pompe moléculaire peut fonctionner en douceur à très haute vitesse. Et avec le développement de la science des matériaux, le matériau du rotor de la pompe moléculaire a également changé, il peut être en alliage d'aluminium dur, fibre de carbone, alliage de titane et autres matériaux de haute dureté qui améliorent la vitesse de rotation du rotor.
Au cours des dernières années, avec le développement de l'industrie des semi-conducteurs, la pompe moléculaire est nécessaire pour évacuer en continu une grande quantité de gaz dans un environnement à haute pression et assurer un vide propre dans de nombreux cas. Les performances des pompes turbomoléculaires traditionnelles dans cet environnement ont beaucoup baissé et il est difficile de garantir les résultats de conception. Afin de rendre la pompe moléculaire adaptable à l'environnement de travail à haute pression, la pompe moléculaire de traction est ajoutée à la pompe turbomoléculaire d'origine et la pompe moléculaire turbo et la pompe moléculaire sont connectées en série pour former une pompe moléculaire composite ( comme le montre la figure 3) avec les avantages de la pompe turbo-moléculaire et de la pompe moléculaire arrière.
De nouvelles pompes moléculaires ont vu le jour ces dernières années, comme les pompes moléculaires à basse température capables d'extraire efficacement les molécules d'eau, les pompes moléculaires en céramique pouvant fonctionner sous de forts champs magnétiques et de fortes conditions de corrosion. avec les avantages du support sans contact, haute efficacité et haute-vie.