Dégazage du vide poussé, du vide ultra poussé et du vide extrêmement poussé

Dégazage du vide poussé, de l'ultra-vide et de l'extrême vide

Dans le cas du vide poussé, de l'ultra-vide et du vide extrêmement poussé, la contribution la plus importante à la décompression (et à la rétention du vide) est le dégazage. Le dégazage est un problème majeur dans les systèmes à vide poussé, ultra-vide et extrêmement poussé, et est le résultat de la désorption de molécules précédemment adsorbées par diffusion vers l'extérieur, infiltration et évaporation à travers la cavité. Le dégazage peut provenir de deux sources : la surface et le matériau de base. En sélectionnant des matériaux à faible pression de vapeur pour tous les composants à l'intérieur du système, tels que le verre, l'acier inoxydable et la céramique, le dégazage provoqué par l'évaporation du matériau de base peut être minimisé. Les matériaux qui ne sont normalement pas considérés comme inhalables peuvent en réalité avoir une grande quantité de ventilation, y compris la plupart des plastiques et certains métaux, tels que les conteneurs doublés de matériaux hautement perméables (tels que le palladium), ce qui peut créer leurs propres problèmes de ventilation. De nombreux matériaux courants, en raison d'une pression de vapeur élevée ou d'une forte absorption, peuvent entraîner un dégazage ultérieur ou une perméabilité élevée face aux différences de pression (comme la ventilation), donc même si vous avez vraiment besoin d'utiliser ce matériau, vous devez l'utiliser comme le moins possible. La plupart des composés organiques ne peuvent pas être utilisés. Bien que beaucoup de gens tiennent pour acquis que l’acier convient, ce n’est pas nécessairement le cas. L’oxydation de l’acier au carbone augmentant considérablement sa surface d’adsorption, seul l’acier inoxydable peut être utilisé. En particulier, les nuances d'acier austénitique sans plomb et à faible teneur en soufre, telles que l'acier inoxydable 304 et l'acier inoxydable 316, contiennent au moins 18 % de chrome et 8 % de nickel. D'autres variantes d'acier inoxydable appropriées comprennent les aciers inoxydables contenant des additifs tels que le niobium et le molybdène, qui réduisent la formation de carbure de chrome. Bien que le débit de gaz mesuré varie considérablement d'un matériau à l'autre, ce débit de gaz dépend également de la vitesse de pompage de la pompe, du temps nécessaire pour évacuer la chambre, de la température du système et de la pression de fond à atteindre. Pour illustrer l'importance de la ventilation dans les plages de vide poussé, d'ultra-vide et de vide extrêmement poussé, il convient de considérer qu'une molécule sur 500 attachée aux parois du système peut se déplacer librement dans le système à une pression de {{ 12}}mbar. Cela met en évidence le fait qu’à ce niveau, la pression est déterminée par la quantité de gaz à la surface du système. Ceci explique pourquoi les équipements d'analyse de surface sont souvent utilisés à ce vide.

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