Jauge à vide à ionisation à cathode froide
Nov 24, 2023| Jauge à vide à ionisation à cathode froide
La jauge d'ionisation à cathode froide (souvent appelée jauge de Penning) est la même que la jauge d'ionisation à cathode chaude, qui est également composée de deux parties de la jauge et de la ligne de mesure, mais elle utilise la cathode froide au lieu de la cathode chaude. comme source d'ions de la jauge à ionisation. Les électrons de la jauge à vide à ionisation à cathode froide fonctionnent en maintenant la décharge sous l'action de champs électromagnétiques parallèles ou orthogonaux.
La plage de mesure de la jauge à vide à ionisation à cathode froide peut atteindre 10-2~10-9mbar. Le vacuomètre est de structure simple et facile à entretenir, et bien que la lecture dépende du type de gaz, elle peut fournir un facteur de correction. Cependant, l'incertitude de mesure des vacuomètres à ionisation à cathode froide se situe entre 30 % et 50 %, et ils ont tendance à commencer à se décharger dans la plage de 10-2 à 10-5.
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