Analyse de la capacité de transport de puissance des cibles de pulvérisation cathodique magnétron
May 24, 2018| 1. Zone cible et plage de puissance de charge
(1) La densité de puissance de la cible de magnétron planaire circulaire est généralement de 1 ~ 25w / cm 2
(2) La densité de puissance de la cible planaire rectangulaire de magnétron est 1 ~ 36w / cm 2
(3) La densité de puissance de la cible magnétron à colonne et de la cible à magnétron planaire conique (pistolet S) est généralement de 40 ~ 50w / cm2.
2. Pouvoir de transport réel de la cible de magnétron
En plus de la technologie de pulvérisation cathodique et des exigences de qualité de film, la puissance de palier réelle de la cible de magnétron est également étroitement liée aux conditions de refroidissement et aux conditions de dissipation thermique de la cible.
Les cibles magnétron peuvent être divisées en deux types: "cible de refroidissement direct de l'eau" et "cible indirecte de refroidissement de l'eau" selon la méthode de refroidissement.
Considérant le vieillissement de la cible après une utilisation à long terme, ses conditions de dissipation thermique sont médiocres et tiennent compte des différents coefficients de transfert de chaleur des différents matériaux cibles, de la puissance de charge ultime de la cible et de la puissance maximale réelle peut être réglé légèrement moins que la limite supérieure de la plage de densité de puissance. Et la charge maximale réelle de la cible de refroidissement indirect de l'eau peut être fixée à environ la moitié de la limite supérieure de la plage de densité de puissance.
Lorsque le magnétron cible (principalement le cuivre, l'argent, le laiton et l'aluminium), il utilise généralement une cible de pulvérisation cathodique à magnétron spécialement conçue pour «diriger l'eau froide». La puissance de transport ultime pour l'utilisation doit être supérieure à la limite supérieure de la plage de densité de puissance cible.