Principe de fonctionnement et schéma de principe de la pompe cryogénique
Jun 12, 2019| Principe de fonctionnement et schéma de principe de la pompe cryogénique
Le principe de fonctionnement de la pompe cryogénique consiste à évacuer les gaz par adsorption physique sur la surface à très basse température.
La pompe cryogénique peut atteindre un vide extrêmement élevé (10-11 Pa) et présente les avantages suivants: vitesse d’échappement rapide, absence d’huile et sens de montage illimité. Sa structure est illustrée à la figure 1 .
FIGUE. 1 schéma de principe de la structure de la pompe cryogénique
1 - table de refroidissement du premier étage; 2 - table de refroidissement secondaire; 3 - couverture cryogénique; 4 - couvercle de blindage; 5 - déflecteur
La table froide de la première étape de la pompe cryogénique est équipée d’un couvercle de protection et d’un déflecteur, et la température est maintenue à 80K. La table de refroidissement secondaire est maintenue à 15K, sur laquelle un revêtement à basse température et un adsorbant de charbon actif sont fixés.
La vapeur d'eau se solidifie sur le bouclier 80K et le déflecteur 80K. L'azote, l'oxygène et l'argon sont solidifiés sur un masque cryogénique de 15K. L'hydrogène, l'hélium et le néon sont adsorbés sur l'adsorbant à l'intérieur du boîtier 15K basse température. La pompe cryogénique peut évacuer tous les gaz, mais si trop de gaz est absorbé, la vitesse d'échappement diminue. À ce stade, la pompe cryogénique doit être chauffée pour libérer le gaz adsorbé et réutilisée.
