Quels types de sources d'évaporation peuvent être utilisés pour le revêtement par évaporation

Quels types de sources d'évaporation peuvent être utilisés pour le revêtement par évaporation
Dans l'industrie du revêtement, l'évaporation peut être utilisée pour réaliser le dépôt de film. Dans cette méthode de dépôt en couche mince, le matériau source pour le dépôt est vaporisé sous vide, permettant aux particules de vapeur de se déplacer librement vers la surface du substrat. En atteignant le substrat, le matériau en évaporation se dépose et se condense à nouveau à l'état solide, formant un film sur le substrat.
Types de différentes sources d'évaporation
Les matériaux utilisés pour fabriquer les sources d'évaporation ont généralement des points de fusion élevés et de faibles pressions de vapeur.
Le filament
Le filament est composé de métaux à point de fusion élevé tels que le tungstène, le molybdène et le tantale. Le matériau qui s'évapore est suspendu ou placé sur le filament, et un courant électrique important passe à travers le filament contenant le matériau qui s'évapore sous vide. Les matériaux sont chauffés à leur point de fusion et éventuellement vaporisés.
creuset
Le creuset pour le dépôt de film mince par évaporation est constitué de matériaux résistants aux hautes températures, notamment le tungstène, le molybdène, le tantale et l'oxyde d'aluminium, le graphite ou le nitrure de bore résistant aux hautes températures. Souvent, les fabricants doivent choisir différents creusets en fonction du matériau à vaporiser.
Le bateau d'évaporation
La nacelle d'évaporation est la meilleure source d'évaporation thermique pour l'évaporation sous vide des matériaux en aluminium. Habituellement, la source d'évaporation du bateau est en tungstène, le bateau d'évaporation est également en matériaux composites céramiques conducteurs haute performance, les principales matières premières utilisées sont le nitrure de bore et le diborure de titane, la surface d'évaporation peut être rainurée ou gravée au laser, son performances fiables, taux d'évaporation précis et longue durée de vie.

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