Le fonctionnement principe de pompe moléculaire

Le mécanisme de pompage de la pompe moléculaire est différent de lapompe mécaniqueest pompée par le changement de volume de la cavité de la pompe, l’utilisation du principe de transfert d’impulsion, le flux d’orientation moléculaire est dégagée à l’extérieur de la pompe, afin d’atteindre l’objectif de pompage.

Pompe à vide moléculaire est l’utilisation de haute vitesse rotor rotatif pour transférer l’énergie aux molécules de gaz, afin que les rendant de compression et évacuation. Il comprend les types suivants :

Pompe moléculaire de traction :Les molécules de gaz et la collision à grande vitesse rotor afin d’obtenir la quantité de mouvement, qui est envoyée vers la sortie, donc, c’est une pompe de transfert de quantité de mouvement.

Turbo pompe moléculaire: La pompe abrite un disque rainuré ou un rotor à pales qui tourne entre les disques du stator (ou stator). La vitesse circonférentielle du rotor est très élevée. Ce type de pompe travaille habituellement dans l’état de flux moléculaire.

Pompe moléculaire composé:C’est une pompe à vide moléculaire composée qui est combinaison de série avec un type de turbo et un type de traction.

La pompe moléculaire tourne à grande vitesse sous la commande du moteur et utilise la puissance de conversion de fréquence pour entraîner le moteur et le but est d’obtenir une vitesse plus élevée. Dans la zone de flux moléculaires, les molécules de gaz entrent en collision avec la surface de la lame en rotation à grande vitesse, et l’impulsion est transmise à des molécules de gaz, afin que la partielle de gaz molécules pour générer le flux directionnel sur la surface du corps rigide et expulsée les pompe pour atteindre l’objectif d’extraction de gaz. Avec mouvement à grande vitesse de corps rigide surface pour transporter des molécules de gaz et faire bouger dans une direction donnée est habituellement appelé le phénomène d’adhérence moléculaire, à l’aide de ce phénomène de pompe à vide appelé traction pompe moléculaire.

L’avantage de la pompe moléculaire de traction est le temps de démarrage court, taux de compression élevé dans l’état de flux moléculaires et peut enlever toutes sortes de gaz et des vapeurs et est particulièrement adapté pour le pompage de gaz plus lourds. Toutefois, en raison de la petite vitesse de pompage de la pompe moléculaire de traction, petite étanchéité clearance, manque de fiabilité de travail, panne mécanique facile et fabrication difficile, en effet il est rarement utilisé. Par la suite la pompe moléculaire de traction a été améliorée, et la pompe moléculaire de turbo est apparu.

Il y a plusieurs groupes de traction interphase jantes ailettes et aubes de la roue fixe dans une pompe moléculaire de turbo, et il existe de nombreuses ailettes situées sur chaque roue qui sont inclinées à un certain angle. La turbopompe moléculaire réel est composé d’arrangement en cascade lame en plusieurs étapes, en ce qui concerne la plaque de rotor, plaque stator, plaque de rotor suivies par une alternance d’arrangement, la lame en rotation est semblable à l’effet de la pale de ventilateur électrique et pompe le gaz d’un côté à l’autre côté. Améliorer la vitesse de la pompe moléculaire est bénéfique à l’amélioration de la vitesse de pompage de la pompe moléculaire. En raison de la limitation de la vitesse de rotate des pales, il est plus difficile à pomper le vide si les molécules de gaz se déplacent plus rapidement.

Turbo pompe moléculaire est également une pompe à vide mécanique, qui est pompée à travers la combinaison de haute vitesse rotation pales de rotor de turbine à plusieurs étages et des lames fixes. Elle produit un taux de compression élevé pour le gaz extrait dans la zone de flux moléculaires, afin d’obtenir les performances souhaitées sous vide. Le vide final de la turbopompe moléculaire est plus haut que la pompe de diffusion, jusqu'à 10-8 pa. Fonctionnement normal nécessite un certain degré de vide de pré. Son niveau de vide varie légèrement en fonction de la pompe. Il se situe habituellement entre 1-200pa et pompe mécanique peut être utilisé comme une pompe de devant de la scène. En raison de la grande vitesse de la pompe turbo moléculaire généralement entraînée par le moteur de l’IF et la fréquence d’alimentation IF de 300 à 400 HZ.

L’eau de refroidissement est généralement utilisé dans leTurbo pompe moléculaire.

Lepompe moléculaire composéest une combinaison de série de pompe moléculaire de turbo et pompe moléculaire de traction. Il intègre les avantages des deux pompes et dispose d’une grande vitesse de pompage et d’un taux de compression élevé au sein d’une gamme large de pression de 10^-6~ 1pa, ce qui améliore grandement la pression à la sortie de la pompe.