Le rôle du refroidisseur d'eau dans le procédé de revêtement sous vide

Le rôle du refroidisseur d'eau dans le procédé de revêtement sous vide

Le principe de fonctionnement du revêtement sous vide est que la membrane s'évapore à haute température et tombe sur la surface de la pièce. Comme l'air résiste à la vaporisation des molécules membranaires, ce qui entraîne une collision qui rend les cristaux plus rugueux et plus ternes, il doit être soumis à un vide poussé pour que les cristaux soient aussi brillants que possible . Le premier revêtement sous vide repose sur la diffusion naturelle de l'évaporateur, associée à une faible efficacité et à un faible brillant. Maintenant, avec l'ajout d'une cible de pulvérisation magnétron à moyenne fréquence, les molécules d'évaporation de la membrane ont été accélérées pour . Un grand nombre d'atomes cibles ont été pulvérisés et un atome cible neutre (ou une molécule) a été déposé sur le substrat pour former un film.

Les équipements moyenne fréquence doivent être équipés d'eau de refroidissement en raison de leur fréquence élevée et de leur courant élevé. Lorsque le courant traverse le conducteur, il se produit un effet de peau. La charge va s'accumuler dans la surface de la conductance, ce qui rend la conductance chaude. Par conséquent, un tube à trou moyen est utilisé comme conducteur et de l'eau est ajoutée pour refroidir le conducteur.

(principalement des cibles cylindriques) pourquoi le refroidissement par eau?

La température élevée de la cible de pulvérisation par magnétron pendant le tir déforme le pistolet, ce qui lui confère une chemise d’eau pour le refroidir. Il y a aussi une raison importante pour laquelle la pulvérisation au magnétron peut être considérée comme l'une des réalisations les plus remarquables de la technologie des revêtements. Il a un taux de pulvérisation élevé, une faible augmentation de la température du substrat et une bonne liaison film-base.

Le principe plus général de la pulvérisation magnétron, l'inhomogénéité transversale et la symétrie du champ magnétique sont les raisons essentielles de la contrainte magnétique. La pulvérisation au magnétron peut être considérée comme l’une des réalisations les plus remarquables de la technologie des revêtements. Il a un taux de pulvérisation élevé, une faible élévation de la température du substrat, une bonne force de liaison entre film et base et des performances stables du dispositif.

Le refroidisseur est une sorte d’équipement de refroidissement par eau, qui peut fournir une température constante, un courant constant et une pression constante. Son principe de fonctionnement consiste à injecter d'abord une certaine quantité d'eau dans le réservoir d'eau de la machine, à refroidir l'eau via le système de réfrigération, puis à envoyer l'eau de refroidissement à basse température dans l'équipement à refroidir par la pompe. L'eau réfrigérée enlèvera la chaleur puis augmentera la température et retournera dans le réservoir d'eau afin d'obtenir un effet de refroidissement. La température de l'eau de refroidissement peut être ajustée automatiquement en fonction des besoins.

La fonction eau froide contrôle la température de la machine de revêtement sous vide pour assurer la haute qualité du placage. Si elle n'est pas équipée d'une machine à eau froide, la machine de revêtement sous vide ne peut pas atteindre le but d'une précision élevée et d'un rendement élevé, car la dissipation thermique naturelle de l'eau et de la tour est inévitablement affectée par la température naturelle et ce contrôle est instable.

La machine à eau froide a un système de réfrigération complètement indépendant, non influencé par la température ni par l'environnement. La température de l'eau dans la plage de réglage de 5 5 ~ 30 permet d'atteindre l'objectif de contrôle de la température et de haute précision. système de recyclage de l'eau.

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