Cibles pour revêtement par pulvérisation de produits électroniques
Jun 07, 2018| Les produits électroniques sont utilisés dans tous les domaines de la vie. La plupart de ces produits électroniques doivent être revêtus avant d'être mis sur le marché. Maintenant, l'équipement de revêtement sous vide couramment utilisé est une machine de revêtement sous vide par pulvérisation magnétron. Et généralement les cibles utilisées dans la pulvérisation sont principalement de trois types: les cibles métalliques, les cibles en alliage et les cibles composées.
Il y a beaucoup de matériaux cibles pour les disques durs. Un film multicouche est appliqué sur la surface d'enregistrement et chaque film a sa propre fonction. Au niveau de la couche inférieure, un film d'alliage de chrome ou de chrome de 40 nm d'épaisseur est appliqué pour améliorer la bonne adhérence et la résistance à la corrosion. Un film d'alliage de cobalt-chrome de 15 nm d'épaisseur est ensuite plaqué au milieu et un film d'alliage de cobalt de 35 nm d'épaisseur est revêtu d'un matériau magnétique qui peut présenter des propriétés magnétiques et des caractéristiques de faible interférence. Enfin, un film de carbone de 15 nm d'épaisseur est enduit.
La cible de pulvérisation pour la tête magnétique est habituellement un alliage fer-nickel, et plus tard, de nouveaux matériaux composés, tels que le nitrure de fer, le nitrure d'antimoine, le nitrure d'aluminium, etc., ont été adoptés. Ce sont toutes d'excellentes cibles de film diélectrique magnétique.
Les disques CD seront recouverts d'un film d'aluminium comme couche réfléchissante sur la pièce en plastique, mais pour les CDROM et DVDROM, le film d'aluminium ne peut pas fonctionner, car il y aura une couche de colorant sur ces disques. et il est généralement remplacé par un film d'or ou un film d'argent.
Le revêtement du disque optique est également composé de plusieurs couches. La couche d'enregistrement en alliage fer-cobalt de 30 nm revêtue sur la couche de colorant contient un élément de transition de terre rare amorphe, puis une couche diélectrique de nitrure de silicium de 20 à 100 nm d'épaisseur est appliquée sur celle-ci. Enfin, une couche réfléchissante en aluminium est revêtue.
Ces produits électroniques nécessitent des performances magnétiques pour enregistrer les données, et ils sont obtenus en pulvérisant le revêtement avec une variété de matériaux différents.
