Performance et avantages d’une pompe à Turbine moléculaire

Turbo pompe moléculaire l’utilisation de la rotation à grande vitesse de la roue à aubes mobile pour transmettre l’élan à des molécules de gaz, le gaz ont généré des flux directionnel de lapompe à vide. Principalement des composants par le corps de la pompe, le rotor avec la lame (c.-à-d. la roue mobile), la turbine statique et le système d’entraînement de pompe turbo moléculaire.

Avantage

Comme turbo pompe moléculaire sous certains aspects, c’est mieux que la pompe cryogénique, performances des pompes pompe et diffusion ionique est supérieure. Par conséquent, dans le cas général, utiliser plus de pompes turbo.

Reflux (1) vapeur propre et exempt d’huile

Turbo pompe moléculaire peut fonctionner sans un puits et fonctionnent selon les règles de fonctionnement, qui peuvent fournir un environnement propre vide pour le conteneur pompé et ne contient pas les hydrocarbures.

(2) pratique à utiliser

Dans de nombreuses applications turbo pompes ne peuvent exiger que les soupapes de dépression élevés ou soupapes de dépression rugueux. Suffit d’appuyer sur le bouton, la pompe peut commencer à travailler, de la pression atmosphérique peut être réduite à la pression finale. Le système peut être grossier et pompé par turbo pompes moléculaires et peut être accéléré jusqu'à la vitesse de fonctionnement. Ceci élimine la nécessité de contrôles de vanne, pièges, tuyaux, vannes et autres composants du vide. Il élimine également l’échec de ces composants.

(3) capacité de Transport de gaz fort

Plupart des pompes turbo moléculaire ont une forte capacité à fournir des gaz légers tels que l’hydrogène et l’hélium, ce qui les rend idéal pour des opérations de processus sous ultravide. Une pompe de turbo moléculaire spécialement conçue pour l’élimination des gaz corrosifs convient à la gravure, gravure ionique réactive, ion beam usinage, dépôt chimique en phase vapeur basse pression, les processus d’implantation d’épitaxie et ion. Durant les processus, le gaz évacué peut corroder les pompes cryogéniques, pompes d’ion, huile pour pompe à diffusion et même détruire les pompes moléculaires standard turbo non protégés. Comme la pompe moléculaire turbo appartient à la pompe de transmission, le gaz pompé pas s’accumuleront dans la pompe, il est donc approprié pour le processus de charge élevés de l’essence.

(4) adapté pour les Applications sous vide élevées Ultra

Un bon turbopompe moléculaire pour sceller et le dégazage est équipé d’une pompe rotative de deux étages avec bonnes performances (ou la même pompe pré sec de performance). Le vide final peut atteindre 10^-9à 10^-10Torr (133,3 à 13,33 nPa). Si une pompe turbo-moléculaire est connectée à une autre pompe turbo-moléculaire à l’aide d’une pompe métal étanche et bien dégazée, sa pression finale est généralement 1 × 10^-10à 1 × 10^-11Torr (13,33 à 1.333 nPa) entre. Et contrairement aux pompes cryogéniques ou pompes à ions, turbo moléculaire pompes fonctionnent à pleine vitesse de pompage dans des conditions de vide ultra-haut.

(5) bonne performance sous haute pression

La pression d’admission de certaines pompes moléculaires de turbo peut fonctionner entre 10^-1et 10^-3Torr (13,33 Pa à 133,3 mPa). Dans cette gamme de pression, la pompe ionique ne peut pas être utilisée, pour la nécessité pompe cryogénique d’étrangler la vitesse de pompage ou de régénération régulière, et le travail de la pompe à diffusion devient instable.

(6) courte duree

La plupart du turbo moléculaire pompes, particulièrement les plus petits un, habituellement besoin de 1 ~ 3 min pour atteindre la vitesse de marche normale. Pompes pour différents types et modèles sont différents et peuvent être arrêtés immédiatement et peuvent être exposés à l’atmosphère.

(7) conditions normales d’utilisation pendant longtemps

Dans certaines applications, la durée d’utilisation normale de la turbopompe moléculaire est supérieure à celui des autres pompes. En raison de la charge de gaz lourds et la vanne, fuite, provoquera la régénération d’intervalle variable souvent pompe cryogénique ou pompe ionique souvent réparer et pompe turbo-moléculaire permet également d’éliminer la contamination par l’huile dans la pompe de la chambre à vide.