Unité de vide ultra-haute sans huile

Unité de vide ultra-haute sans huile
Les unités sous vide qui n’utilisent pas l’huile comme fluide de travail et qui n’utilisent pas de matières organiques pour sceller sont appelées unités à vide ultra-haute sans huile. Les pompes principales couramment utilisées sont les pompes cryogéniques, pompes en titane, pompes à ion pulvérisant, etc., qui peuvent obtenir le degré de vide ultime de 10-7~10-8Pa. Par rapport à l’unité de vide avec de l’huile, il a les avantages suivants:
(1) peut obtenir le vide propre, aucune source de pollution ;
(2) Lorsque la pompe à vide sans huile est démarrée, la pompe de pré-pompage peut être isolée;
(3) Si le pompage s’arrête soudainement, il ne polluera pas le système;
(4) pas d’huile, pas de bruit, pas de vibrations, améliorer l’environnement de travail;
(5) Vide ultime élevé, vitesse de pompage élevée, temps de pompage court.

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