Introduction de la méthode de fonctionnement de la Machine de métallisation sous vide

La machine de métallisation sous vide est un instrument de revêtement qui a besoin pour fonctionner à vide plus élevé. Il est divisé en deux sortes d’évaporation et de pulvérisation.

Procédé de revêtement par évaporation est généralement le chauffage cibler le matériel, ce qui provoque les composantes de la surface du matériau cible à être vaporisée par atomique ou ionique et déposés sur la surface du substrat, formant la couche mince à travers le processus du film formation.

Revêtement de pulvérisation peut être comprise simplement comme l’utilisation d’électrons ou laser haute énergie à la cible de bombardements et les composantes de la surface de la cible être pulvérisation sous forme d’ions ou des atomes et finalement déposés sur la surface du substrat, formant la couche mince à travers le processus de formation de film.

Suivre les étapes :

1. méthode fonctionnement de l’armoire de commande électromécanique pour la métallisation sous vide

(1) ouvrir la source d’air et pompe à eau.

(2) mettre en marche le principal.

(3) ouvrir l’alimentation de la pompe de tenue et le mètre de vide, la jauge à vide V1 position, attendez sa valeur inférieure à 10 et puis entrez l’opération suivante. Probablement besoin de cinq minutes.

(4) allumer la pompe mécanique, effectuer le pompage préalable, ouvrir le bloc d’alimentation turbo pompe moléculaire et démarrer la pompe moléculaire. Le commutateur vacuomètre est changé à la position de V2. Une fois le degré de vide est pompé à moins de 2, arrêter de pomper, et il faudra 20 minutes.

(5) lorsque les lectures de la pompe à turbine moléculaire sont observés pour atteindre 250, le pré de pompage est fermé, puis ouvrir la pompe primaire et des soupapes de dépression élevés continuent d’évacuer. Seulement lorsque le vide atteint 2 × 10-3, l’alimentation du pistolet électronique peut être allumée.

2. fonctionnement de la machine de métallisation sous vide

(1) tourner sur l’alimentation principale.

(2) en même temps ouvrir la commande de pistolet électronique I et II alimentation : selon la commande de pistolet électronique puissance I, temporisation et puis le voyant de délai, allume feu et protection lumière, lumière. La lampe de lumière et de la protection de retard s’éteindre après trois minutes. Si la porte n’est pas fermée ou le relais de flux est défectueux, le voyant de protection sera toujours sur.

(3) ouvrir la haute pression, haute pression va atteindre plus de 10 kV, réglage du faisceau à propos de 200mA, la grille de bouclier est 20V / 100mA, filament actuel 1. 2 a, la déviation actuelle swing 1 ~ 1,7.

3. séquence arrêt de la machine de métallisation sous vide

(1) Eteignez la tenue de la jauge et pompe moléculaire.

(2) lorsque la pompe moléculaire montre jusqu'à 50, la soupape de dépression élevée, support de pompe et pompe mécanique sont fermées dans l’ordre. Probablement besoin de 40 minutes.

(3) lorsque la pompe moléculaire présente moins de 50, fermer la pompe de l’exploitation.