Introduire du contrôleur de débit massique

Le régulateur de débit massique (MFC) est utilisé pour la mesure précise et le contrôle du débit massique du gaz. Il est généralement composé d'un capteur de débit, d'une vanne de régulation de débit, d'un circuit de commande d'amplification et d'un canal de contrôle de dérivation. Son alimentation d'énergie de travail et l'affichage du flux et les opérations de réglage par son alimentation d'affichage de flux de soutien.

Utilisation et fonctionnalités

MFC joue un rôle important dans la recherche scientifique et la production dans de nombreux domaines tels que l'industrie microélectronique des semi-conducteurs, le développement de matériaux spéciaux, l'industrie chimique, l'industrie pétrolière, la médecine, la protection de l'environnement et le vide.

Les applications typiques comprennent: équipement de traitement électronique tel que diffusion, oxydation, épitaxie, CVD, gravure plasma, pulvérisation cathodique, implantation ionique; et équipement de revêtement sous vide, chromatographes en phase gazeuse et autres instruments analytiques.

Contrôleur de débit massique et débitmètre massique avec une grande précision, une bonne répétabilité, une vitesse de réponse rapide, un démarrage en douceur, une plage de pression de travail stable et fiable (qui peut fonctionner sous haute pression ou sous vide), l'opération est facile à utiliser. MFC peut être installé dans n'importe quelle position, et est connecté à l'ordinateur pour réaliser un contrôle automatique.

Le débitmètre est généralement divisé en les types suivants:

1. Débitmètre volumétrique

Il utilise l'élément de mesure mécanique pour diviser en continu le fluide en une seule partie de volume connue. Le débit volumétrique du fluide est mesuré en fonction du nombre de fois que le volume de fluide a été rempli et déchargé l'un après l'autre, successivement par rapport à la chambre de mesure.

2. Débitmètre à flotteur (débitmètre à rotor)

Le débitmètre à flotteur est une sorte de débitmètre à section variable, dans un cône vertical de haut en bas, la section transversale circulaire de la gravité du flotteur est soutenue par la puissance liquide, de sorte que le flotteur peut être libre dans le cône.

3. Débitmètre à pression différentielle

Il est basé sur la pression différentielle produite par le détecteur de débit installé dans le tuyau, l'état du fluide connu et le compteur pour calculer le débit entre le tuyau et le tuyau.

4. Vortex débitmètre de rue (VSF)

Le générateur de vortex non-streamline est placé dans le fluide et le fluide est alternativement séparé des deux côtés du corps générateur pour libérer deux séries d'instruments vortex entrelacés régulièrement.

5. Débitmètre à turbine

C'est le principal type de débitmètre de vitesse. Il utilise le rotor à plusieurs pales (turbine) pour détecter la vitesse moyenne du fluide et déduit l'instrument du volume d'écoulement ou de la quantité totale.

6. Débitmètre à ultrasons

C'est la mesure de l'écoulement en mesurant l'effet de l'écoulement de fluide sur le faisceau ultrasonique (ou l'impulsion ultrasonique).

7. Débitmètre électromagnétique

Le débitmètre électromagnétique est une sorte d'instrument de mesure de la conductivité du liquide selon la loi de l'induction électromagnétique de Faraday.

8. Débitmètre massique thermique

Le capteur de débitmètre thermique contient deux éléments de détection, un capteur de vitesse et un capteur de température. Ils peuvent automatiquement compenser et calibrer le changement de température du gaz. La partie de chauffage électrique de l'instrument a chauffé le capteur de vitesse à une certaine valeur supérieure à la température de la condition de travail, de sorte qu'une différence de température constante entre le capteur de vitesse et le capteur à la condition de température de travail. Lorsque la différence de température est maintenue constante, l'énergie consommée par le chauffage électrique est proportionnelle au débit massique du flux de gaz et convient à la mesure d'une seule proportion gazeuse et fixe de gaz multi-composants.