Formation des couches minces
Jan 23, 2018| 1. coagulation est le résultat de l’adsorption mutuelle des molécules de la matrice et les atomes d’évaporation
Dans le vide, quand certaine énergie d’évaporation atome empiète sur la surface du substrat, des échanges d’énergie avec la molécule de substrat sont effectuée par le champ de force de la surface du substrat et l’adsorption physique et chimisorption se produisent entre la évaporation de l’atome et la molécule de substrat. L’adsorption physique est tout deux forces Vander Waals rapprochées entre les molécules et adsorption chimique est la liaison chimique entre les atomes. Pas tous de l’évaporation des atomes peuvent adsorption avec les molécules de substrat, certains des atomes de gardent la plupart de l’énergie qui leur est propre, et l’abordage s’est produit après réflexion, même ces évaporés atomes adsorbés il encore peuvent être transférées sur la surface du substrat ou par désorption et laisser la surface du substrat. En outre, sur la surface du substrat, il y a une association entre les atomes évaporés et le même type d’atomes adsorbés à la surface du substrat. Le processus d’évaporation des atomes adsorbés par le substrat est appelé agglomération.
Le rapport de l’atome condensée à l’atome de l’incident est appelé le coefficient coacervation de l’atome de l’évaporation. En raison de l’attraction différente entre les atomes, le coefficient de l’agglomération du même type d’atomes d’évaporation pour différents substrats est différent.
Chaque atome évaporé a température critique est différente de la formation du film pour les différents substrats et la température du substrat est inférieure à la température critique du film, il peut être condensée. Ce phénomène peut être interprété comme : lorsque la température du substrat est trop élevée, les atomes s’évaporant empiéter sur la surface du substrat sont soit réfléchies ou désorbées. Dans le film formant des processus (base existante formant film), même si la température du substrat est supérieure à la température critique, le film peut continuer à croître, et son état de cristallisation sera modifié. Dans les premiers stades de la formation de films, le film est à l’état amorphe ou corps vitré, avec l’augmentation de la température, le film progressivement à la transition métastable, si cette tendance se maintient, il sera transformé à stable, enfin dans des films cristallins.
2. processus de couche mince
Au début des dépôts, la surface du substrat est uniformément absorbée une évaporation des atomes, l’interaction entre les atomes de l’évaporation se rassemblent dans certains noyaux qui se développent, migration, fusion, la formation d’un certain nombre de petites îles (grand cristal noyaux réunis), la surface terrière de croissance ces îles semblables les uns aux autres, sont reliés pour former une grande île. Avec le dépôt, les hauteurs de ces îles et îlots sont multiplient, et enfin une structure de réseau avec fossés se forme sur la surface de la semelle entière. Le résultat de l’évaporation continue, l’évaporation atomes sont aussi continuellement nucléées et île dans les tranchées et finalement les fossés complets sont progressivement remplis. Quand les fossés et les trous dans la surface de la base sont remplies, les atomes s’évaporés continuent à s’accumuler toutes sortes de films sur ces structures.
En microscopie électronique, on peut considérer que les films classiques évaporation thermique sont des structures tout cylindriques. La direction du cylindre est la même que celle de la croissance du film, mais perpendiculaire à l’interface de film, et il existe de nombreuses lacunes entre ces bouteilles. La mesure de l’écart total dans le film par densité de remplissage :
Remplissage de densité (P) = le volume de la partie solide du film (cylindre) / le volume du film (cylindre + pore)
La densité de remplissage est fonction de la température du substrat, ainsi que dans la plupart des cas, la densité de remplissage augmente avec l’augmentation de la température du substrat. En général, l’augmentation du taux d’évaporation peut augmenter la densité de remplissage, et l’effet de la vitesse d’évaporation est particulièrement significatif lorsque le film est plus faible. La densité augmente également avec l’augmentation de l’épaisseur du film. C’est probablement dû au changement de l’état de la structure du film pendant le processus de formation de pellicule. Il peut aussi être causée par le blocage d’une certaine partie des pores dans le processus de formation de film film.
