Débitmètre massique

introduction

Le débitmètre massique (MFC) se compose de trois dispositifs de base: capteur de débit, dérivation de débit et carte de circuit imprimé, il mesure avec précision les débits massiques, malgré le volume de gaz fluctué en raison des changements de température. Le MFC est largement utilisé dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs et de circuits intégrés, de la science des matériaux spéciaux, de l'industrie chimique, de l'industrie pétrochimique, de l'industrie pharmaceutique, de la protection de l'environnement, de la recherche de systèmes sous vide, etc.

Application typique

Les applications typiques du MFC incluent l'équipement de procédé microélectronique comme la diffusion, l'oxydation, l'épitaxie, le CVD, le plasma, la gravure, la pulvérisation, l'implantation ionique et d'autres domaines tels que l'équipement de dépôt sous vide, la fusion de fibre optique , système de contrôle de débit capillaire, chromatographe en phase gazeuse et autres instruments analytiques.

Caractéristiques

D07-7KM MFC a les avantages de haute précision, longue durée de vie, excellente répétabilité, réponse rapide, démarrage progressif, bonne fiabilité, large gamme de pression de fonctionnement (bon fonctionnement en haute pression ou situation de vide), opération facile et pratique, etc. Il peut être installé partout où nécessaire et connecté à l'ordinateur pour réaliser un contrôle automatique.

spécification

Dimension d'installation