Contrôleur de débit massique LowMFC basse pression - PFC-20
Le régulateur de débit massique PFC-20, basse pression π MFC, permet une utilisation maximale des gaz de la source de livraison sûre. La mise en œuvre du πMFC basse pression augmente le temps de disponibilité de l'outil en réduisant la fréquence des changements de bouteille de gaz source. Il offre un contrôle précis et précis des gaz à faible ...
- Présentation du produit
INTRODUCTION
Le régulateur de débit massique PFC-20, basse pression π MFC, permet une utilisation maximale des gaz de la source de livraison sûre. La mise en œuvre du πMFC basse pression augmente le temps de disponibilité de l'outil en réduisant la fréquence des changements de bouteille de gaz source. Il offre un contrôle précis et précis des faibles débits de gaz sur une large plage de pression avec une pression de refoulement de gaz source aussi basse que 4 Torr.
Ce πMFC est le dernier-né des produits MKS conçus spécifiquement pour les gaz sources SDS et VAC ® servant à l'industrie de l'implantation ionique. Les conceptions brevetées de vannes et de capteurs offrent une stabilité et une précision de zéro exceptionnelles pour toutes les conditions de débit tout en conservant la possibilité d'atteindre rapidement le point de consigne et de contrôler de façon répétée le débit de gaz. Les E / S de contrôle et d'encombrement MFC standard sont compatibles avec les conduites de gaz existantes pour une intégration et un fonctionnement faciles.
CARACTÉRISTIQUES ET AVANTAGES
◆ Maximise l'utilisation du gaz source SDS réduisant ainsi les changements de bouteille, ce qui augmente le temps de fonctionnement de l'outil et réduit le coût de propriété
◆ Contrôle de manière répétée les faibles débits de gaz permettant une consommation de gaz réduite en utilisant des paramètres optimisés pour les applications de source d'implant.
◆ La boucle de régulation numérique fournit une réponse rapide au point de consigne, ce qui minimise le temps de cycle du processus
◆ Augmente la disponibilité de l'outil grâce à la réduction de "Aucun problème détecté": remplacements MFC
- Diagnostics et logiciels intégrés inclus permettant aux utilisateurs de vérifier la fonctionnalité MFC sans retirer le MFC
-E-diagnostics via une interface Ethernet intégrée permet de surveiller les paramètres de performance pendant le fonctionnement
◆ remplacement direct de forme-ajustement-fonction pour la plupart des MFCs communs
◆ Réduit les coûts d'inventaire grâce à une capacité multi-gaz et multi-gammes
◆ Configuration et diagnostic simples via l'interface Ethernet
- Utilise un navigateur Web standard - aucun logiciel spécial requis
- Inclut l'application PC à distance
◆ L'affichage lumineux rotatif de LED fournit la visualisation facile du débit, du type de gaz, de la gamme complète de débit, de la température et de l' adresse d'Ethernet
DESSIN DIMENSIONNEL ET PINOUTS
SPÉCIFICATION
| Performance | ||
| Gamme complète (N 2 équivalent) | 2- 20 sccm | |
| Plage de pression d'entrée | 4 - 1200 Torr (avec aspiration à la sortie) | |
| Différentiel de pression de fonctionnement normal (N 2 équivalent) | <10 torr="" à="" débit="" fs="" (avec="" aspiration="" à="" la=""> | |
| Pression de purge maximale | 150 psig | |
| Pression d'éclatement | 1500 psig | |
| Plage de contrôle | 2 à 100% de FS | |
| Précision typique | ± 1% du point de consigne pour> 10 à 100% FS et ± 0,2% de FS pour 2 à 10% de FS à des pressions d'entrée> 20 Torr | |
| Répétabilité | 0,2% de FS | |
| Résolution | 0,1% de lecture | |
Température Coefficients | Zéro | ± 0,08% de FS / ° C |
| Envergure | ± 0,08% de Rdg / ° C | |
Temps de stabilisation du contrôleur (conformément à la directive E17-0600) | <2> typique au-dessus de 10% de FS à des pressions d'entrée> 10 Torr | |
Temps de préchauffage (à moins de 0,2% de la marge de stabilité de la performance en régime permanent ) | <30> | |
| Température de fonctionnement normale | 10 à 50 ° C | |
| Humidité de stockage | 0 à 95% d'humidité relative, pas de condensation | |
| Température de stockage | -20 à 65 ° C | |
| Affichage de la température | 0 à 100 ° C | |
| Unités de lecture de température | ° C | |
| Précision de la température | ± 2 ° C | |
| Résolution de température | 0,1 ° C | |
| Mécanique | ||
| Raccords | Swagelok ® 4 VCR ® | |
| Afficher | 4 chiffres pour la valeur, 4 caractères pour l'unité | |
| Intégrité de fuite | Externe (scc / sec He) | <1x10> |
| Grâce à la vanne fermée | <1,0% de="" fs="" à="" 25="" psig="" à=""> | |
Matériaux en contact avec le fluide la norme | 316 SS VAR (équivalent à 316 SS SCQ pour la qualité de semi-conducteur), 316 SS, Elgiloy, KM-45, NiTi | |
| Finition de surface | 5 microinch moyenne Ra | |
| Poids | Moins de 2 lb (0.9 kg) | |
| Électrique | ||
| Connecteurs | Analogique (alimentation et E / S) | D mâle 9 broches ou mâle D 15 broches |
| Diagnostics | Ethernet | |
| Tension d'entrée | 15-24 VDC ± 5% VDC @ 350mA crête, état stable 250 mA | |
| Signal de commande de point de consigne | 0 à 5 VDC | |
| Signal de sortie | 0 à 5 VDC | |
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