Quelle est la raison affectera le revêtement de film ITO par une machine de revêtement sous vide
Feb 28, 2019| Quelle est la raison affectera le revêtement de film ITO par une machine de revêtement sous vide
Les films ITO auront différentes caractéristiques lors du processus de projection par projection, parfois la finition de surface est relativement faible, phénomène de piqûre, parfois il y aura une zone d'intervalle de corrosion élevée.
Lors de la gravure, il y aura également des rayures radiales linéaires ou des bandes à haute résistance, parfois des rainures microcristallines.
La génération de diverses caractéristiques dépend généralement du choix du matériau cible et du verre, de la température et du mode de déplacement utilisé lors du placage par projection.
Les matériaux cibles couramment utilisés en ITO, obtenus par calcination, se composent de poudre d’oxyde d’indium (In2O3) et d’oxyde d’étain (SnO2) mélangée selon une certaine proportion, le rapport massique étant généralement de 90% 10% In2O3 et SnO2, après moulage série de procédés de production, frittés à 1400 1600 ~ 1600 oxygen d’oxygène à haute température, formation finale du semi-conducteur céramique gris foncé ITO (oxyde d’étain-indium).
En règle générale, nous pouvons connaître la qualité du matériau cible ITO grâce à son apparence. Le gris foncé est le meilleur. Au contraire, plus la qualité est sombre, plus elle est pire.
Grâce à la recherche, dans le processus de pulvérisation sous vide de film de machine de revêtement, en utilisant la pulvérisation magnétron, le contrôle de la température de base à environ 200 ° C peut garantir plus de 85% du film mince sous un facteur de transmission élevé de la lumière visible, un taux de résistance minimal et une cristallinité du film avec l'augmentation de la température du substrat, la taille des grains augmente progressivement.
Plus de 200 après le taux de transmission ont tendance à être affaiblis; Utilisation de l'évaporation par faisceau d'électrons, avec la température de recuit, la taille des grains, la stabilité uniforme de la topographie de surface, plus de 600 après la taille des particules, les formes et le phénomène d'agglomération des petites particules est grave, la morphologie de la surface de la membrane.