Quelles sont les exigences techniques et structurelles pour la machine de revêtement par évaporation sous vide?
Jan 29, 2019| Quelles sont les exigences techniques et structurelles pour la machine de revêtement par évaporation sous vide?
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I. exigences de structure
1, la structure de l'équipement doit être une disposition raisonnable, belle forme, facile à utiliser, facile à entretenir.
2. La structure et les dimensions des joints statiques et dynamiques de l'équipement doivent être conformes aux dispositions des documents GB / T 6070 et JB / T 1090-1092.
3. Une jauge à vide doit être installée sur les canalisations sous vide et sous vide et dans la chambre de revêtement pour mesurer la pression de chaque élément séparément.
4. Si l'unité de vide de l'équipement est dominée par la pompe à diffusion, un déflecteur ou un puits froid doit être installé à l'entrée de la pompe à diffusion.
5, la salle de revêtement doit avoir une fenêtre d’observation; pour le processus de revêtement des équipements à rayonnement, la fenêtre d’observation doit être équipée de lentilles anti-rayons.
6, avec l'équipement de cuisson des pièces, il devrait y avoir une électrode de mesure de la température ou un dispositif de mesure de la température.
7, la vitesse de rotation du mécanisme de rotation du cadre de la pièce devrait répondre aux exigences de la conception du produit.
8. L'équipement équipé d'un dispositif de bombardement ionique ou d'un dispositif à source d'ions de faible puissance et à faisceau large doit pouvoir fonctionner normalement et de manière stable pendant plus de 30 minutes dans le respect des paramètres spécifiés dans les exigences de conception du produit.
9. Le réchauffeur avec fil de tungstène en tant que source de chaleur par évaporation devrait être en mesure de rendre l'évaporation du matériau d'évaporation normale et, dans le processus d'évaporation, la géométrie du réchauffeur ne devrait pas affecter l'évaporation normale.
10. La source d'évaporation de l'équipement doit être stable et facile à régler et à contrôler. Les exigences techniques applicables à diverses sources d'évaporation (telles que sources d'évaporation par résistance, sources d'évaporation par faisceau d'électrons, sources d'évaporation par faisceau d'ions, sources d'évaporation par laser, sources d'évaporation inductive, etc.) doivent être spécifiées conformément aux normes de produit correspondantes.
11. Lorsque l'équipement adopte une source d'évaporation à basse tension et à haute résistance, chaque appareil de chauffage à source d'évaporation doit fonctionner normalement sous l'état de tension 4V ~ 20V et de courant 50A ~ 180A.
Ii. Exigences de fabrication
1. La qualité d'usinage, la qualité de soudage et la qualité d'assemblage des pièces et composants de l'équipement doivent être conformes aux dispositions des documents techniques du fabricant.
2. La rugosité La valeur Ra de la surface intérieure du revêtement et de la surface d'étanchéité de l'équipement ne doit pas dépasser 1,6 µm et toutes les surfaces sous vide doivent être nettoyées et séchées efficacement. Toutes les pièces en rotation, le mécanisme de levage et les autres actions doivent être flexibles, ne pas être bloqués, stagnés, lâches, tremblements et phénomènes sonores anormaux, etc.
3. Les matériaux des pièces principales et des composants de l'équipement doivent être conformes aux normes de matériaux en vigueur.
4. La qualité des appareils électriques auxiliaires doit être conforme aux documents techniques du fabricant et assurer la sécurité et la fiabilité des équipements en fonctionnement.
5. La qualité de l'apparence de l'équipement ne doit pas comporter d'exigences non fonctionnelles telles que des angles vifs, des arêtes vives, des renflements et des surfaces rugueuses.Le bord de la surface des joints des pièces doit être soigné et même sans dislocation manifeste.Les pièces en métal doivent être solides revêtement, pas de chute et la rouille et d'autres phénomènes, toutes les parties fortes doivent être une couche de rouille.La surface de revêtement de l'équipement doit être brillante et propre, belle, ferme, pas de perte, de pelage et d'autres phénomènes.
6. Les produits auxiliaires achetés auprès de l'équipement doivent être conformes aux normes de produit correspondantes et doivent comporter des certificats de qualité.Les produits auxiliaires fabriqués par l'utilisateur ne peuvent être utilisés qu'après avoir réussi l'inspection par le service de contrôle du fabricant.
7. Diverses sources d'évaporation, sources d'ions auxiliaires et bombardement d'ions, rotation de la pièce, cuisson de la pièce, biais de la pièce, surveillance de l'épaisseur du film et autres dispositifs de l'équipement.Le débogage élément par article et le débogage du joint doivent être effectués.Lorsque la pièce est chauffée à la température nominale, la température de la surface extérieure sous vide ne doit pas dépasser 45 degrés et la partie mobile de l'équipement doit fonctionner normalement.