Quelles sont les raisons pour lesquelles le débit MFC ne peut pas atteindre la valeur définie ?
Mar 14, 2022| Quelles sont les raisons pour lesquelles le débit MFC ne peut pas atteindre la valeur définie ?
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If the flow of other points can not reach the set value, maybe ground connection problem, this problem often appears in the customer wiring system, the standard connection method is as follows: the "set" line connected to the computer D/A output; Connect the "flow detection" line to the computer A/D input terminal; "Signal ground" line to computer input/output signal reference ground; The low current ground wire "common ground" and the high current ground wire "power ground" are respectively led and connected together to the common end of ±15V/24V power supply.
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Ce problème peut également se produire lorsque le MFC utilise un contrôle de tension analogique.
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Pour les produits à commande numérique, il est nécessaire de vérifier si la consigne de réglage spécifique est correcte et si la conversion entre le flux MFC et la consigne est correcte selon le protocole de communication correspondant.
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Bien sûr, si l'alimentation du MFC est insuffisante, ce phénomène se produira également. La puissance moyenne de chaque MFC est d'environ 10-13W.
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Il est également possible que la pression soit trop basse et n'atteigne pas la valeur définie. Dans ce cas, le MFC peut être réglé sur l'état de nettoyage pour déterminer s'il s'agit d'un problème de pression. S'il s'agit d'un problème de pression, l'affichage du débit de nettoyage sera toujours très bas.
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Problèmes de circuit du MFC lui-même ou pollution causée par le problème de blocage du MFC. S'il est en parfait accord (notez l'accord parfait ! Y compris la pression, le trajet du gaz, la température, le câblage, etc.), remplacez-le directement. Si le défaut disparaît, cela indique qu'il y a un problème avec le circuit MFC, qui doit être retourné à l'usine pour maintenance.
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