La nécessité de la détection de fuite de vide et la source de gaz qui affecte le vide du système

Le système de vide est nécessaire pour obtenir et maintenir l'état de vide. S'il y a une fuite d'air sérieuse, c'est un défaut majeur du système. Par conséquent, la détection de fuite de vide pertinente est nécessaire.

La respirabilité et les fuites sont de nature différente. Respirabilité est le processus d'infiltration de gaz, de diffusion, de passage et d'échappement d'un côté avec une densité élevée à un côté avec une faible densité. Tout matériau a une certaine perméabilité. Les fuites sont un phénomène dans lequel les molécules de gaz s'écoulent du côté haute pression vers le côté basse pression en raison de défauts dans le matériau lui-même ou de mauvaises parties d'étanchéité. Dans un autre cas, les fuites ne se produisent pas à température ambiante, mais la différence de coefficient de dilatation thermique au moment du changement de température peut également provoquer une fuite. La figure 1 est un diagramme schématique de la source de gaz qui affecte le système de vide.

Fig.1 Schéma de la source de gaz qui affecte le vide du système

Strictement parlant, tout système de vide a des fuites d'air, et les fuites d'air sont absolues. Un certain taux de fuite peut être toléré pour différents systèmes de vide. Pour la technologie actuelle du vide, le taux de fuite admissible du système à ultra-vide est ≤ 1,33 × 10 ^-11 Pa.m ³ / s.

La détection des fuites de vide est devenue une partie indispensable de la production et de l'utilisation des systèmes de vide. La méthode de détection des fuites sous vide varie, et les méthodes les plus représentatives sont la détection des fuites du spectromètre de masse à l'hélium et l'analyse des gaz résiduels du spectromètre de masse quadripolaire.